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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]重叠偏移量算出系统及方法-CN202311143435.7在审
  • 山本琢磨 - 株式会社日立高新技术
  • 2020-03-18 - 2023-10-24 - H01J37/22
  • 一种重叠偏移量算出系统及方法，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。重叠偏移量算出系统具备控制部，根据通过向试料照射带电粒子束而得到的图像算出图案间的重叠偏移量，基于与第一模板图像的匹配，根据包括位于试料的表面的第一图案的图像的第一图像，决定第一图案的第一位置，基于与第二模板图像的匹配，根据包括位于比试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像，决定第二图案的第二位置，基于所决定的第一位置调整第一图像中的第一测定区的位置，基于所决定的第二位置调整第二图像中的第二测定区的位置，按照第一、第二测定区的位置调整结果，算出第一、第二图案间的重叠偏移量。
  • 重叠偏移量算出系统方法
  • [发明专利]带电粒子束装置-CN202010193732.2有效
  • 山本琢磨 - 株式会社日立高新技术
  • 2020-03-18 - 2023-09-22 - H01J37/22
  • 提供一种带电粒子束装置，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。该带电粒子束装置具备：带电粒子束照射部，向试料照射带电粒子束；第一检测器，对来自所述试料的二次电子进行检测；第二检测器，对来自所述试料的反射电子进行检测；和图像处理部，基于所述第一检测器的输出，生成包括位于所述试料的表面的第一图案的图像的第一图像，且基于所述第二检测器的输出，生成包括位于比所述试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像。控制部基于针对所述第一图像的第一模板图像，调整所述第一图像中的测定区的位置，且基于针对所述第二图像的第二模板图像，调整所述第二图像中的测定区的位置。
  • 带电粒子束装置
  • [发明专利]图案测量装置以及测量方法-CN201980095995.5有效
  • 孙伟;山本琢磨;后藤泰范 - 株式会社日立高新技术
  • 2019-05-08 - 2023-07-14 - G01B15/00
  • 为了测量形成于层叠多个不同的材料而得到的样品的图案的立体形状，对构成图案的材料分别预先存储表征该材料中的在单位距离内该材料和电子引起散射的概率的衰减率μ，提取BSE图像中的图案的上表面位置、底面位置以及不同的材料彼此相接的界面位置，使用相对于BSE图像中的图案的上表面位置与底面位置的对比度的所述图案的任意位置与底面位置的对比度的比率nIh、和图案的底面位置的材料的衰减率以及图案的该任意位置的材料的衰减率，来算出图案的该任意位置的距上表面位置的深度。
  • 图案测量装置以及测量方法
  • [发明专利]触摸面板系统以及显示装置-CN202211637859.4在审
  • 山岸慎治;丸山武纪;木田和寿;山本琢磨;杉田靖博;福岛浩 - 夏普显示科技株式会社
  • 2022-12-16 - 2023-06-30 - G06F3/044
  • 提供即使在具备盖部件的情况下也能够提高按压的检测灵敏度的触摸面板系统以及显示装置。触摸面板系统(100)具备触摸面板(1)、与触摸面板(1)重叠配置的盖部件以及控制器(2)。控制器(2)包括：位置检测部，其基于从位置检测电极得到的信号值来检测指示体的位置；放大处理部，其对从按压检测电极得到的信号值中的、与由位置检测部检测出的指示体的位置对应的按压检测范围内的信号值的至少一个进行放大处理；以及按压检测部，其基于放大处理后的信号值来计算指示体的按压的大小，该放大处理后的信号值是包含由放大处理部放大后的信号值的按压检测范围内的信号值。
  • 触摸面板系统以及显示装置
  • [发明专利]图案测量装置及图案测量方法-CN202211231117.1在审
  • 山本琢磨;太田洋也;谷本宪史;安部悠介;田盛友浩;野尻正明 - 株式会社日立高新技术
  • 2017-10-13 - 2022-12-23 - G01B15/00
  • 提供一种图案测量装置和图案测量方法，图案测量装置具备运算装置，该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号，对形成在试料上的图案的尺寸进行测定，所述运算装置具有：位置偏移量算出部，其根据以任意的射束倾转角获取到的图像，算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向的位置偏移量；图案倾斜量算出部，其通过预先求出的所述位置偏移量与所述图案的倾斜量的关系式，根据所述位置偏移量来算出所述图案的倾斜量；以及射束倾转控制量算出部，其控制射束倾转角，使得与所述图案的倾斜量一致，设定为算出的射束倾转角，再次获取图像而进行图案的测量。
  • 图案测量装置测量方法
  • [发明专利]图案测量装置及图案测量方法-CN201780094300.2有效
  • 山本琢磨;太田洋也;谷本宪史;安部悠介;田盛友浩;野尻正明 - 株式会社日立高新技术
  • 2017-10-13 - 2022-10-25 - G01B15/00
  • 提供一种图案测量装置，具备运算装置，该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号，对形成在试料上的图案的尺寸进行测定，所述运算装置具有：位置偏移量算出部，其根据以任意的射束倾转角获取到的图像，算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向的位置偏移量；图案倾斜量算出部，其通过预先求出的所述位置偏移量与所述图案的倾斜量的关系式，根据所述位置偏移量来算出所述图案的倾斜量；以及射束倾转控制量算出部，其控制射束倾转角，使得与所述图案的倾斜量一致，设定为算出的射束倾转角，再次获取图像而进行图案的测量。
  • 图案测量装置测量方法
  • [发明专利]图案检查装置-CN202080091062.1在审
  • 孙伟;后藤泰范;山本琢磨;榊原慎 - 株式会社日立高新技术
  • 2020-01-10 - 2022-08-12 - H01L21/66
  • 根据基准波形(112)以及表示从背散射电子图像中提取出的沿第一方向的来自图案的背散射电子信号强度的BSE信号波形(211)，生成表示取得相同的背散射电子信号强度的BSE信号波形的坐标与基准波形的坐标的差值与背散射电子信号强度之间的关系的差值波形，并基于差值波形来判定在图案的侧壁有无一次电子束未照射到的遮挡区域(203)。在此，基准波形表示在基准图案上扫描了一次电子束时的沿第一方向的来自基准图案的背散射电子信号强度，其中，基准图案是相对于图案的表面以及底面垂直地形成了侧壁的图案。
  • 图案检查装置
  • [发明专利]触摸面板系统及显示装置-CN202111194415.3在审
  • 山岸慎治;丸山武纪;木田和寿;山本琢磨;杉田靖博 - 夏普株式会社
  • 2021-10-13 - 2022-05-13 - G06F3/044
  • 提供能够同时检测指示体的位置以及按压的大小的触摸面板系统、以及具备该触摸面板系统的显示装置。触摸面板系统(S)具备:触摸面板(1)，其具备驱动电极、位置检测电极以及按压检测电极；以及控制器(2)，其向驱动电极提供驱动信号，从位置检测电极以及按压检测电极分别获取信号值。控制器(2)基于从位置检测电极获得的信号值检测指示体的位置，基于从按压检测电极获得的信号值中的、与检测到的指示体的位置对应的按压检测范围内的信号值，计算指示体的按压的大小。
  • 触摸面板系统显示装置
  • [发明专利]带电粒子束系统以及重合偏差量测定方法-CN201980099380.X在审
  • 山本琢磨 - 株式会社日立高新技术
  • 2019-08-28 - 2022-03-22 - H01J37/22
  • 在短时间内测量重合偏差量的测定。图像生成部根据检测器的信号生成图像。匹配处理部在由图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置。线轮廓生成部对重合图案进行扫描，生成针对二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对反射电子信号的第二线轮廓。重合偏差量测定部根据第一线轮廓确定重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据第二线轮廓确定重合测量用图案中的第二图案的位置，根据第一图案的位置以及第二图案的位置，测定试样中的重合偏差量。
  • 带电粒子束系统以及重合偏差测定方法
  • [发明专利]触摸面板和显示装置-CN202110826415.4在审
  • 丸山武纪;木田和寿;山岸慎治;山本琢磨;杉田靖博;福岛浩 - 夏普株式会社
  • 2021-07-21 - 2022-02-22 - G06F3/041
  • 课题：提供一种能够高精度地检测指示体的位置以及按压的大小的触摸面板以及具备该触摸面板的显示装置。触摸面板(1)包括第一基板(10)和第二基板(20)。触摸面板(1)包括：驱动电极(11)，其形成于第一基板(10)的第一表面(10a)上；位置传感器电极(21)以及按压传感器电极(22)，其形成于第二基板(20)的第二表面(20a)上；位置传感器布线(41)，其连接位置传感器电极(21)与端子部(30)；按压传感器布线(42)，其连接按压传感器电极(22)与端子部(30)；以及屏蔽布线(43)，其在俯视时，配置于位置传感器布线(41)与按压传感器布线(42)之间。
  • 触摸面板显示装置
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