|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 4814964个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]深沟槽清洗方法-CN202210597565.7在审
-
蔡亚果;张小龙;赵春山;张武志;曹亚民
-
上海华力集成电路制造有限公司
-
2022-05-30
-
2022-09-06
-
H01L21/02
- 本发明公开了一种深沟槽清洗方法，其用于背照式图像传感器制作工艺，通过改变干法刻蚀清洗环境修复深沟槽表面的损伤，在执行所述干法刻蚀时通过增加还原性气体流量和比例修复深沟槽表面的损伤。还原性气体通过可产生还原性气体的前驱体产生，在执行所述干法刻蚀时通过标定深沟槽表面逐步增加还原性气体流量和比例修复深沟槽表面的损伤。本发明通过在进行背照式图像传感器深沟槽清洗时，改变干法刻蚀清洗环境修复深沟槽表面的损伤，增加Dry strip中还原性气体流量和比例修复深沟槽表面的损伤，降低缺陷密度，从而降低白像素形成。通过实验证明，本发明通过增加还原性气体流量，白像素P50可改善20～25％，P95改善10～20％。
- 深沟清洗方法
- [发明专利]一种耐候钢的冶炼工艺-CN200410047040.8无效
-
吴光亮;焦国华;郑柏平;温德智;戴开发;梁新亮;罗刚;孟征兵
-
涟源钢铁集团有限公司
-
2004-12-08
-
2006-06-14
-
C21C5/28
- 本发明公开了一种焊接结构用耐候钢及高耐候结构钢的冶炼工艺，由镍或铬原矿、还原剂、活性催化剂、溶渣调节剂及粘结剂配制还原性球团，在转炉或电炉钢水达到出钢要求时，在出钢前将还原性球团加入到炼钢炉内，或在转炉、电炉出钢过程中将还原性球团加入钢水包中，或在对转炉钢水或电炉钢水进行精炼过程中将还原性球团加入到钢水精炼炉中，并根据所冶炼耐候钢的牌号控制还原性球团的加入量。将含镍、铬的还原性球团加入到钢水中，利用高温钢水的热量将镍、铬从镍或铬原矿中还原成金属镍、铬进入钢液起合金化作用。这种冶炼工艺可提高镍、铬的综合回收率，降低耐候钢生产成本，缩短冶炼流程，充分利用有效资源，减少环境污染，可推广。
- 一种耐候钢冶炼工艺
|
