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- [实用新型]晶圆导送设备-CN201320352501.7有效
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陈典廷;柯益隆;马庄
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帆宣系统科技股份有限公司
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2013-06-19
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2013-12-18
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆导送设备，包括：一单轴式机械手臂，设于晶圆制程室的内部空间一侧，且该单轴式机械手臂呈可旋转、伸缩与升降型态；一晶圆入料载具及一晶圆出料载具，分别设于单轴式机械手臂的相对二端；一双轴式机械手臂，设于该晶圆制程室内部空间的另一侧，且与单轴式机械手臂呈间隔对应的配置关系，该双轴式机械手臂为可旋转、伸缩与升降型态；一定位加热整合装置，设于单轴式机械手臂与双轴式机械手臂之间；至少二晶圆加工台，设于双轴式机械手臂的至少一端，该晶圆加工台用以对晶圆进行预定加工制程；晶圆导送设备可令晶圆导送流程获得更精细的分工，达到晶圆导送速度大幅提升、有效增进晶圆制程效率的目的。
- 晶圆导送设备
- [实用新型]一种双头固晶机-CN202120989661.7有效
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张跃春;梁国城;谭雪艳
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先进光电器材(深圳)有限公司
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2021-05-10
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2021-11-09
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H01L33/62
- 本实用新型公开了一种双头固晶机，包括台板及设置在所述台板上的工作盒，所述工作盒沿Y轴方向可滑动设置，所述工作盒X轴方向上的相对两侧分别设有固晶组件和顶针组件，所述固晶组件及所述顶针组件分别沿X轴方向可滑动设置，所述台板上还设有驱使所述固晶组件沿X轴方向滑动的第一调节组件和驱使所述顶针组件沿X轴方向滑动的第二调节组件。本实用新型提供的双头固晶机减少了工作盒在两个固晶组件之间需要移动的距离，利于固晶臂快速对准LED支架上的固晶工位，以使固晶臂能够更快的将芯片贴装到LED支架相应的固晶工位上，减少了工作盒在台板上不必要的移动时间，进而提升双头固晶机整体的贴装效率。
- 一种双头固晶机
- [实用新型]一种晶圆盒双轴联动输送机构-CN201920697770.4有效
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杨仕品
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昆山市智程自动化设备有限公司
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2019-05-16
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2020-03-27
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B65G47/90
- 本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上，包括顶升气缸、连接板、抬架以及承托盘，承托盘通过固定板连接，下端连接伸缩气缸，伸缩气缸底座固连有支架，支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。该晶圆盒双轴联动输送机构利用X轴滑移组件和Y轴滑移组件构成的双轴联动动作，通过抬架上下左右位移动作将晶圆盒进行抬升移送，再由承托盘承载晶圆盒供料，由下一工位的机械手抓料，自动化程度高，实用方便，适用性强
- 一种晶圆盒双轴联动输送机构
- [发明专利]一种双尺度等轴结构的钛合金及其制备方法与应用-CN202210702077.8在审
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杨超;陈涛;屈盛官
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华南理工大学
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2022-06-21
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2022-09-27
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C22C1/04
- 本发明公开了一种双尺度等轴结构的钛合金及其制备方法与应用。该钛合金微观结构包括10‑30μm的等轴结构区域及其边界1‑2μm宽、7‑40μm长的连续微米晶β‑Ti板条相。其中，10‑30μm的等轴结构区域包括100‑400nm的等轴超细晶α‑Ti相，及其晶界100‑150nm宽、280‑900nm长的超细晶β‑Ti板条相。所述连续微米晶β‑Ti板条相和超细晶β‑Ti板条相构成双尺度结构，等轴超细晶α‑Ti相及其组成的微米级等轴结构区域构成等轴结构。本发明方法所得钛合金的力学性能较传统无压烧结钛合金具有极大提升，相比现有制备双尺度结构钛合金方法具有工艺简单、成本低和制品尺寸、结构自由度高等优势。
- 一种尺度结构钛合金及其制备方法应用
- [发明专利]一种半导体晶圆双膜切割方法-CN202210737268.8在审
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张猛
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伯恩半导体（河南）有限公司
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2022-06-27
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2022-09-02
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B28D5/04
- 本发明涉及半导体晶片加工技术领域，并公开了一种半导体晶圆双膜切割方法，包括以下步骤，在半导体晶圆正、背面相同位置分别进行经纬标准线划定，使用金刚石双切刀的Z1主轴划片刀分别对晶圆正、背面经纬标准线进行开槽，并分别沿经纬线沿一定步距向两侧进行开槽，在晶圆的正面粘附两层划片膜，两层划片膜由内至外依次为内层划片膜与外层划片膜，且内层划片膜填充在晶圆正面的槽内，使用金刚石双切刀的Z2轴划片刀沿晶圆背面经线槽切穿晶圆，刀片每次切割均切割到内层划片膜，使用金刚石双切刀的Z2轴划片刀沿晶圆背面纬线槽切穿晶圆，刀片每次切割均切割到外层划片膜且不切透外层划片膜，本发明的切割方法可以有效减少晶圆在切割过程背崩的发生。
- 一种半导体晶圆双膜切割方法
- [实用新型]一种高速自动LED固晶机-CN201922266649.9有效
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黎志文
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深圳市宝发工业设备有限公司
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2019-12-17
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2020-05-22
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H01L33/48
- 本实用新型公开了一种高速自动LED固晶机，包括槽口朝上的上料槽和槽口朝下的安装槽，所述安装槽中设有固晶装置，所述上料槽的底壁固定连接有两个伸缩装置，两个伸缩装置的伸缩端均固定连接有晶片架，所述上料槽的底壁固定连接有支撑槽，所述上料槽的两侧内壁均通过铰链活动连接有盖板，所述支撑槽的两侧侧壁均固定连接有与盖板匹配的密封条，所述安装槽上端内壁固定连接有双轴电机，所述双轴电机的两个输出轴均固定连接有卷筒，所述卷筒上设有拉绳，所述拉绳远离双轴电机的一端与盖板的上端侧壁固定连接本实用新型在固晶时打开盖板，不固晶时关闭盖板，保护晶体，降低其受到灰尘的影响，提高固晶效率。
- 一种高速自动led固晶机
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