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[实用新型]一种甩干机排放系统-CN202020744989.8有效
发明人：杨仕品;黄文隆 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： F26B5/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种甩干机排放系统，包括水气分离盒、用于排气的气压缸自动开关阀、排水管以及用于将水气排放至所述水气分离盒的二分管，所述水气分离盒内设有分隔板，所述分隔板上开设有小孔，所述分隔板使所述水气分离盒分为上层和下层，所述上层与所述气压缸自动开关阀及所述二分管均连通，所述下层与所述排水管连通；通过气压缸自动开关阀来调节排气口的开关，解决了排气口常开的问题，提高了腔体内的清洁度。
一种甩干机排放系统

[实用新型]一种金刚脚座-CN202020746216.3有效
发明人：杨仕品;黄文隆 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： F16M7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种金刚脚座，包括金刚脚座内圈和金刚脚座外圈，所述金刚脚座内圈包括内圈底、内圈圈壁和内圈止付螺丝，内圈止付螺丝螺纹连接于内圈圈壁，所述金刚脚座外圈包括外圈底、外圈圈壁和外圈止付螺丝，外圈止付螺丝螺纹连接于外圈圈壁，所述金刚脚座内圈置于所述金刚脚座外圈内。本实用新型提供的一种金刚脚座，增加了脚座的重量和脚座与地面的接触面积，而且设有外圈止付螺丝和外圈止付螺丝，能够更有效地调整及校正机台位置，或在发生异常位移时迅速归位。
一种金刚

[发明专利]一种硅晶片甩干机-CN201910405608.5有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： F26B5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅晶片甩干机，包括离心甩干组件、密封盖和机架，离心甩干组件包括甩干桶、离心篮、甩干盒、固定架以及离心动力组件，甩干桶设有圆柱型筒壁，外周设置有举升机构的调节孔，筒壁内侧相切设置有脱水管和泄压管，离心篮外周侧壁设置有斜U形架孔，斜U形架孔上通过举升杆挂持的甩干盒，举升杆两端设置有板状举升块，固定架与甩干桶固连，离心篮底端中心设置有转轴连接孔，与下部设置的离心动力组件键槽配合，离心动力组件包括离心转动机构、位置调节机构和举升机构。该硅晶片甩干机利用离心甩干脱水的原理，将待甩干的晶圆盒放置在甩干盒内，通过离心转动机构带动甩干桶高速转动，将水脱干流入脱水管，自动化程度高，实用方便。
一种晶片甩干机

[实用新型]一种ICP尾气处理装置-CN201920697745.6有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，进气管与排气管设置在机架上端，进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，每个腔室内均设置有喷淋管，喷淋管口均设置有螺旋喷淋头，每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料，二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室，该ICP尾气处理装置利用处理室将ICP尾气与溶有三氯化硼气体的循环处理液充分中和处理，并且利用虹吸喷淋将尾气导流到最终喷淋腔室中，可以充分处理尾气残余有害气体，而且保持循环处理液温度在结晶临界温度之上，节能环保。
一种 icp 尾气处理装置

[实用新型]一种立式旋转冲洗甩干机-CN201921173748.6有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式旋转冲洗甩干机，包括安装底座，所述安装底座的顶部四角均通过螺栓连接有安装杆，且安装杆的内壁通过螺栓连接有滑动杆，所述滑动杆的外壁套接有滑动块，且滑动块的外壁通过螺栓连接有同一个清洗箱体，所述清洗箱体的顶部通过铰链连接有密封盖。本实用新型中，通过设置有电动机、转动轴、甩干桶、旋转底座，将物件放置在甩干桶中，控制器控制进水管处电磁阀门开启，进水管向清洗箱体内部注水，同时电动机通过皮带带动转动轴旋转，同时可对物件进行冲洗，同时在甩干桶的底部安装有旋转底座，增大了甩干桶的底部接触面积，提高了甩干时的稳定性，避免了甩干桶晃动幅度过大，提高了装置的使用寿命。
一种立式旋转冲洗甩干机

[实用新型]一种CDS供液柜防腐处理装置-CN201921166606.7有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B05B16/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CDS供液柜防腐处理装置，包括底部四角固定安装有支腿的底座以及固定安装于底座顶部两端的侧板，所述侧板的顶端分别固定安装有顶板一以及顶板二，所述底座的顶部外壁安装有旋转载物机构，所述顶板一以及顶板二安装有移动喷漆机构，所述顶板二安装有烘干机构，所述旋转载物机构包括承载板，且承载板与底座的相对一侧均开有环形槽，所述环形槽的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠，所述底座靠近承载板的一侧固定安装有电磁铁，所述承载板的圆周外壁固定安装有锥形齿环，所述底座的顶部外壁一端固定安装有驱动电机。本实用新型通过设置的电磁铁使得对于钢板材的固定更加便捷有效，且不会存在喷漆死角。
一种 cds 供液柜防腐处理装置

[实用新型]一种晶圆盒双轴联动输送机构-CN201920697770.4有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上，包括顶升气缸、连接板、抬架以及承托盘，承托盘通过固定板连接，下端连接伸缩气缸，伸缩气缸底座固连有支架，支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。该晶圆盒双轴联动输送机构利用X轴滑移组件和Y轴滑移组件构成的双轴联动动作，通过抬架上下左右位移动作将晶圆盒进行抬升移送，再由承托盘承载晶圆盒供料，由下一工位的机械手抓料，自动化程度高，实用方便，适用性强。
一种晶圆盒双轴联动输送机构

[实用新型]一种半导体制造用清洗机-CN201921166877.2有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机，包括底座，所述底座的顶部通过螺栓连接有清洗箱和储液箱，且清洗箱的底部设有喇叭状结构的溢流罩，所述底座的顶部通过螺栓连接有输送泵，且输送泵的进口端通过法兰与储液箱连通，输送泵的出口通过法兰与溢流罩连通，所述清洗箱的内部设有支撑网板，且支撑网板的顶端通过搭扣锁连接有防护支架。本实用新型中，启动输送泵将储液罐内部的清洗液循环至清洗箱的内部，使得清洗液从溢流罩向上涌出，涌出的清洗液进入到清洗腔内部自下而上的对半导体片表面进行清洗，将污渍从溢流管排出，带有污渍的清洗液从溢流管排出至储液箱的内部过滤后进行循环，提高对清洗液的利用效率。
清洗箱清洗液输送泵储液箱溢流罩底座本实用新型螺栓连接支撑网板污渍溢流管法兰排出连通半导体制造喇叭状结构清洗液循环半导体片防护支架储液罐搭扣锁进口端清洗机清洗腔过滤清洗出口

[实用新型]一种干泵过滤装置-CN201920702598.7有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干泵过滤装置，包括支架、冷凝外壳及冷凝内壳、过滤网、法兰盘以及进气管和出气管，支架支撑固定住冷凝外壳，冷凝外壳与冷凝内壳之间设有冷凝腔室，两端均与法兰盘密闭固连，法兰盘外侧均固连进气管和出气管，冷凝内壳中心管体内，在靠近进气管一端径向连接有进气格栅，与进气格栅固连有过滤网，过滤网外周设有若干阵列的进气过滤孔，含有杂质以及高温油气的混合气体通过进气管后，进入待过滤区后，再透过进气格栅进入冷凝腔室，并由过滤网过滤后通过出气管排出。该干泵过滤装置利用过滤网充分过滤，在冷凝外壳与冷凝内壳共同围成的冷凝腔室将高温油气进行液化过滤，减少干泵的维护次数，延长干泵的使用寿命，实用方便。
过滤网冷凝外壳冷凝进气管干泵内壳进气格栅冷凝腔室出气管法兰盘固连过滤高温油气过滤装置本实用新型混合气体进气过滤径向连接使用寿命支架支撑过滤区中心管密闭排出外周液化支架体内维护

[实用新型]一种环形轴向风刀装置-CN201920702572.2有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种环形轴向风刀装置，包括空气环以及环形喷嘴，空气环外周侧壁均匀设置有螺纹密闭孔，螺纹密闭孔内贯通有进气孔，进气孔连通内部设置的腔室，腔室内侧上端面设置有限位凸块，与环形喷嘴下端面设置有的定位块配合限位，使得空气环中心孔与环形喷嘴中心孔配合后同轴固定，并且空气环的中心孔内侧壁和环形喷嘴中心孔的外侧壁之间留有间隙，该环形轴向风刀装置利用空气环和环形喷嘴一体配合，将高压气体均衡平稳的径向穿过空气环灌入腔室内，并通过环形间隙向管道内侧壁高压吹送，形成风刀冲刷内管壁，将液化成粘度较大的有机物或者结晶体有效冲刷干净，实用方便，适用性强。
环形喷嘴空气环中心孔刀装置环形轴进气孔密闭孔螺纹冲刷结晶体室内本实用新型管道内侧壁高压气体环形间隙径向穿过均匀设置内部设置配合限位同轴固定外周侧壁定位块内侧壁内管壁上端面外侧壁下端面有机物吹送风刀灌入腔室凸块心孔液化连通配合贯通均衡

[实用新型]一种CVD尾气处理装置-CN201920697724.4有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CVD尾气处理装置，包括机架、燃烧室、二次燃烧管、过滤吸收箱、喷淋室以及进气管和排气管，燃烧室连接进气管，将引进的CVD混合物灌入燃烧室内，保持足够温度情况下维持燃烧状态，并在二次燃烧管中接续燃烧，二次燃烧管外周固连有第一冷凝管和第二冷凝管，过滤吸收箱上端密闭连接有引流管和U形管，U形管连接二次燃烧管和喷淋室，淋喷室外侧壁设置有淋喷管，淋喷管连通在喷淋室内分布为上下若干个淋喷头，该装置利用燃烧室将CVD尾气进行充分燃烧后，在经过二次燃烧管进行完全彻底燃烧后，冷凝固化后，固体沉积物流入过滤吸收箱，气体尾气再经过淋喷室气液吸收后重新流回过滤吸收箱进行吸收过滤，实用方便。
二次燃烧过滤吸收箱燃烧室喷管进气管冷凝管喷淋室燃烧喷室室内尾气处理装置本实用新型固体沉积物充分燃烧冷凝固化密闭连接气体尾气气液吸收燃烧状态混合物淋喷头排气管外侧壁引流管上端固连灌入喷淋外周接续连通尾气吸收

[实用新型]一种夹取晶圆盒的机械手装置-CN201920702566.7有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，两夹持臂将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，倾斜块中部设置有U形孔，U形孔与旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件，该夹取晶圆盒的机械手装置利用X轴传动组件和Z轴滑移组件构成的双轴联动动作，由电机和气缸的动作控制夹持臂和旋转杆共同作用将晶圆盒抬升移送，自动化程度高，实用方便，适用性强。
晶圆盒旋转杆夹持臂机械手装置传动位移滑移组件制动组件倾斜块旋转块固连夹取气缸本实用新型动作控制对称设置双轴联动头部设置周向转动组件包括拨动杆后轴承后轴座内固定前挡板前轴承锁紧块圆柱型顶杆盒边夹持前轴抬升电机自动化配合

[实用新型]一种半导体生产的集成化密集废气处理器-CN201821419337.6有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体生产的集成化密集废气处理器，包括：除尘室、冷凝槽、过滤部和光解催化室，第二进气管另一端连接有水吸收室，所述水吸收室右端固定连接有第三进气管，第三进气管右侧固定连接有光解催化室，所述光解催化室内设置有若干催化设备，包括有触媒板、紫外线灯和催化剂网板，所述过滤部内设置安装有吸附层，所述过滤部上部设置有干燥层，干燥层内填充有干燥剂，所述过滤部上方固定安装有烟囱。该装置通过静电除尘、冷凝溶解、催化光解和物理吸附的方式来进行废气处理，多种方式组合使用可以更加全面有效的完成对于废气的处理；蜂窝状结构，内部填充有活性炭，通过蜂窝状的结构增加气体与活性炭的接触面积，提升吸附的效果。
光解过滤进气管半导体生产废气处理器活性炭水吸收室催化室干燥层集成化催化本实用新型蜂窝状结构催化剂网催化设备废气处理结构增加静电除尘内部填充物理吸附一端连接紫外线灯除尘室触媒板蜂窝状干燥剂冷凝槽吸附层冷凝吸附填充烟囱废气溶解室内

[实用新型]一种半导体生产硫化剂废气处理器-CN201821419299.4有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B01D53/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体生产硫化剂废气处理器，包括：除尘机、风机和脱硫塔，其特征在于：所述除尘机右侧连接有废气进气管，所述废气进气管为输送的是半导体封胶产生的废气；固定支架上方固定连接有石灰水进料管，固定支架中部下方固定连接有雾化器，雾化器外侧设置有若干喷嘴，所述脱硫塔中部设置有引流板。除尘机通过静电除尘将废气中的粉尘就来沉降在粉尘预处理器内，静电除尘净化效率高、阻力损失小和允许操作温度范围大的有点；通过雾化处理以及多角度喷嘴的设计，增加了石灰浆液喷洒范围以及均匀程度，提升化学反应的效率以及质量；所述引流板为引流作用，使废气可以充分和相关脱硫剂进行反应，更高效的利用空间。
除尘机废气半导体生产废气处理器废气进气管固定支架静电除尘硫化剂脱硫塔雾化器引流板粉尘预处理器化学反应本实用新型多角度喷嘴引流净化效率石灰浆液外侧设置雾化处理阻力损失喷嘴沉降进料管石灰水脱硫剂风机封胶喷洒半导体粉尘

[实用新型]一种用于半导体清洗机的快速装夹卡扣-CN201821419290.3有效
发明人：杨仕品 -专利权人： 昆山市智程自动化设备有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体清洗机的快速装夹卡扣，包括：外接动力机构、装夹主体板、零件固定板和装夹连接部，所述装夹主体板右侧设置有装夹连接部，装夹主体板内测中部上方通过螺栓组固定安装有零件固定板，所述零件固定板为零件装夹的位置；所述装夹主体板左侧固定安装有横杆支撑固定座。所述防松垫片是由统一规格的两片垫片组成，每片的外侧带有放射状凸纹面，内侧为斜齿面，防止因振动引起的螺栓松动，不再发生由于紧固件松动而引起的相关问题，提升该装置的稳定性和安全性；所述退刀槽为边界圆角设计，避免在连接部分出现应力集中，造成疲劳破坏；该装置结构设计紧凑，同时可以装夹多个零件，提高清洗的效率。
装夹主体板零件固定板半导体清洗机快速装夹卡扣放射状凸纹面本实用新型动力机构多个零件防松垫片横杆支撑螺栓松动疲劳破坏应力集中装置结构固定座紧固件螺栓组退刀槽斜齿面垫片外接圆角紧凑松动清洗统一

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