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[发明专利]一种用于单晶炉热屏平行度检测的装置-CN202211589096.0在审
发明人：班伟;刘璐璐;周浩;郑克诚;姚颢;鲁杰;梁乐 -专利权人：宁夏大学
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于单晶炉热屏平行度检测的装置，涉及单晶炉技术领域。所述用于单晶炉热屏平行度检测的装置包括：平面倾角仪、激光传感器、球型云台、底座、陀螺转角仪、数据采集装置、电源、上位机和设备平台。
一种用于单晶炉热屏平行检测装置

[发明专利]一种热屏及单晶炉用热场-CN201910044963.4在审
发明人：李博一;冉瑞应;杨东;金雪;唐青 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2019-01-17 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种热屏及单晶炉用热场，涉及太阳能光伏技术领域。所述热屏包括：热屏本体和热量反射筒；所述热屏本体具有拉晶通道；所述热量反射筒至少部分位于所述拉晶通道内，所述热量反射筒具有通孔；所述通孔与所述拉晶通道连通。热量反射筒至少部分位于拉晶通道内，热量反射筒具有通孔，该通孔与拉晶通道连通，使得热量通过拉晶通道向单晶炉低温部件传输过程中，由于位于拉晶通道中的热量反射筒的反射和阻挡等，大部分的热量会再次返回至熔体中，同时，热屏包括热屏本体和热量反射筒，热屏本体和热量反射筒可以分别单独加工，便于加工，且结构简单，便于装配。
一种单晶炉用热场

[发明专利]一种低氧单晶炉-CN202210751276.8有效
发明人：欧子杨 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种低氧单晶炉，包括由底部至顶部顺次设置在炉体内的排气管、炉底、主炉室和水冷屏，其中炉体侧壁中设有至少两根冷却管，任一冷却管的进水口和排水口均延伸至炉体外部，其中一根冷却管单独贯穿水冷屏。通过将水冷屏水路设置为独立水路，保证炉体水流冷却系统正常工作。在炉体中分别设置不同水流量的排气管水路、炉底水路、主炉室水路和水冷屏水路，使该单晶炉可以根据不同工步控制冷却水的水流量，调节炉内温场分布达到温度梯度的效果。通过设置炉体加高的结构，整体抬升热场，从空间上加大底部的体积从而降低单晶氧含量。
一种低氧单晶炉

[实用新型]单晶炉热屏提取装置-CN201320690423.1有效
发明人：刘辉;贺贤汉 -专利权人：上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2013-11-04 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型单晶炉热屏提取装置，包括：手持杆；连接环，所述连接环设置在所述手持杆下方，所述连接环通过连接杆与所述手持杆连接；连接臂，所述连接臂的一端与所述连接环连接。本实用新型单晶炉热屏提取装置结构简单，其次在现场操作中使用方便，牢固可靠；在取高温热屏作业时，直接利用工装将高温热屏安全取出，有效的避免了由于高温对人身造成的安全隐患。并且可以在温度降低前取出热屏，加快热场取出的进行。减少等待时间一小时，缩短运行时间，降低生产成本。
单晶炉热屏提取装置

[实用新型]一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置-CN201620267353.2有效
发明人：栗宁 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置，包括升降机构以及水冷管，升降机构用于驱动水冷管进入单晶炉内。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置解决了现有的单晶炉停炉冷却时间过长的问题。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置在停炉时，通过升降机构将两根水冷管同步伸入单晶炉热场中，将热场底部保温抬起，通过循环冷却水带走热场中热量，达到降低炉内温度的目的，其结构简单，避免因改造单晶炉产生的高额费用，利用单晶炉炉底预留电极孔即可安装，冷却效果显著，可将拆炉时间缩短一半。
一种直拉单晶炉停炉快速冷却装置

[实用新型]单晶炉热屏结构-CN201822079513.2有效
发明人：吴建科 -专利权人：中卫市银阳新能源有限公司
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉热屏结构，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒，所述内胆体套设在外胆体内，所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环，所述水冷胆体套设在内胆体内，所述水管至少为两根，一端连通在水冷胆体上其大大改善了热场内部纵向温度梯度，提高了单晶体硅的生长速度。
水冷胆体支撑环水冷组件体内单晶炉内胆体屏蔽筒热屏水管纵向温度梯度本实用新型单晶体外胆体内胆外胆连通生长

[实用新型]单晶炉热屏结构-CN202022004275.6有效
发明人：伊冉 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种单晶炉热屏结构，包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，内热屏套装在外热屏内，外热屏的顶部固定设置有连接凸边，提升环设置在连接凸边的下部，固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部；本实用新型在使用的时候可以减轻氩气对断热材的冲刷，使得氩气难以将热屏断热材上的碳粉，纤维等带入溶汤，提高成晶率，改善晶棒体内碳含量，延长断热材使用寿命。
单晶炉热屏结构

[实用新型]带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉-CN200920122503.0有效
发明人：曹建伟;朱亮;张俊;邱敏秀 -专利权人：上虞晶盛机电工程有限公司
申请日： 2009-06-22 - 公布日： 2010-05-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅单晶制备装置，旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道本实用新型通过水冷夹套对单晶棒刚生长出来的高温部分进行冷却，巨大的温差使得单晶棒散热很快，单晶棒生长速度可提高近一倍。由于单晶棒生长界面的热量可以快速通过单晶棒导走，既大大降低了加热器的功耗，还能减少晶体的微缺陷。如果使用的冷却水温度更低，降温效果还会更好。
水冷直拉式硅单晶生长

[发明专利]一种提高直拉硅单晶拉速的结构-CN201510904659.4在审
发明人：王林;高润飞;宋都明;陈建梅;张寿星;张颂越;王淼 -专利权人：天津市环欧半导体材料技术有限公司
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高直拉硅单晶炉拉速的结构，包括热屏上内胆、碳毡、热屏外胆、热屏下内胆，热屏下内胆为上口小、下口大的锥形斜面，与坩埚内硅熔液液面夹角为45-90°，热屏上内胆、热屏下内胆与热屏外胆之间填充碳毡，热屏上内胆、热屏下内胆材质选用钼、石墨或石英，技术效果是，结构简单，明显提高拉速，对RRV有改善效果。
一种提高直拉硅单晶拉速结构

[发明专利]一种单晶炉热屏导流筒-CN202110406589.5在审
发明人：谭鑫;李鸿邦;王存;崔凯;崔磊 -专利权人：曲靖阳光能源硅材料有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种单晶炉热屏导流筒，包括导流筒本体，所述导流筒本体包括外热屏和内热屏，所述内热屏内设有冷却装置，所述冷却装置通过连接环与所述导流筒本体固定连接，所述导流筒本体上设有筒体提升装置。本发明能够解决仅通过硅棒传导潜热由于其传导效率低，造成了加热器加热硅的时间延长导致其过度消耗，增加了单晶硅的制造成本的技术问题。
一种单晶炉热屏导流

[实用新型]一种单晶炉水冷屏机构-CN202223245538.8有效
发明人：蔡璋榕;郑珠兰 -专利权人：福建鑫睿晶学科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶材料生产领域，尤其是一种单晶炉水冷屏机构，针对现有的存在传统的单晶炉大多将水冷屏固定在某一位置，一定时间后对单晶棒末端的冷却程度不够的问题，现提出如下方案，其包括单晶炉炉体，所述单晶炉炉体的顶部固定安装有炉盖，所述炉盖的内部固定贯穿有两个限位管，所述单晶炉炉体的底部内壁固定安装有加热器，所述加热器的底部内壁固定安装有坩埚；升降组件，所述升降组件用于实现水冷屏的上下移动；水冷屏组件，所述水冷屏组件用于实现对单晶棒的末端进行冷却，本实用新型中，通过设置有水冷屏，可实现对单晶棒的末端进行冷却，还设置有升降组件，可调节水冷屏的高度，使其持续对单晶棒的末端进行冷却，使生产效率达到最大。
一种单晶炉水冷机构

[实用新型]单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉-CN201220313158.0有效
发明人：郭凯;高文宽;乔松;尹东坡;周浩 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-06-29 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉。其中单晶炉热场加热器包括：加热器主体(10)以及固定设置在加热器主体(10)上的加热器脚(20)，加热器主体(10)与加热器脚(20)可拆卸地连接。采用本实用新型的单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉，可以只更换磨损的加热器脚，而保留加热器主体，降低维修成本。
单晶炉热场加热器包括单晶炉

[实用新型]一种适用于单晶硅降功耗的热场结构及单晶炉系统-CN202122378394.2有效
发明人：韩凯;武志军;张文霞;谷守伟;王林 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种适用于单晶硅降功耗的热场结构及单晶炉系统，包括热屏封气环、热屏支撑环、内保温部和外保温部，内保温部设于外保温部的内部，内保温部与外保温部内侧面接触；热屏支撑环设于外保温部的内部，且热屏支撑环设于内保温部的一端，热屏支撑环与外保温部的内侧面接触，对热屏进行支撑；热屏封气环设于外保温部的内部，且热屏封气环与热屏支撑环的远离内保温部的一侧面接触，热屏封气环与外保温部的内侧面接触，对热屏支撑环分别与内保温部和外保温部的接触处进行封堵本实用新型的有益效果是避免原有的上保温层与中保温层的拼接部分在炉台运行过程中的热量损耗，外保温部的厚度呈梯度式设置，有利于单晶在生长过程中带走结晶潜热。
一种适用于单晶硅功耗结构单晶炉系统

[实用新型]一种单晶炉用热屏升降装置-CN201821627309.3有效
发明人：王维 -专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉热屏升降技术领域，公开了一种单晶炉用热屏升降装置，包括：至少一个传动机构和设置在所述传动机构的下方的提拉部件，其中，所述传动机构包括减速器、丝杠、活动式设置在所述丝杠上的螺母以及设置在所述螺母的上端面的支撑块该单晶炉用热屏升降装置具有产能高和拉晶效率高的优点。
丝杠螺母向上运动单晶炉减速器热屏升降装置提拉部件支撑轴向本实用新型活动式设置输出轴同轴同步转动运动带动周向转动输出轴上端产能拉晶下端升降转动

[发明专利]一种增加直拉硅单晶装料量的方法及装置-CN200910310766.9无效
发明人：梁永生;周晓渊;李定武 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司
申请日： 2009-12-02 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种增加直拉硅单晶装料量的方法，利用热屏中间的晶体生长空间装料，即在坩埚内装满多晶原料后，将装料筒放入热屏中，在装料筒的下段外表面设置有若干固定脚，固定脚支撑在热屏上，装料筒处于热屏中的最低位装料筒的截面为逐级向上缩小的塔形形状，并且上下通透，其外表面最大直径小于单晶炉主副炉室之间喉口的直径。本发明还公开了一种上述方法使用的装置，本发明的方法及装置，充分利用热屏中间的晶体生长空间装料，通过该装置增加了实际的装料量，提高了生产效率。
一种增加直拉硅单晶装料方法装置