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- [发明专利]半导体装置的制造方法-CN201280012270.3有效
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大场隆之
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国立大学法人东京大学
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2012-03-08
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2013-12-11
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H01L25/065
- 一种在主面侧形成了具有半导体集成电路的多个半导体晶片的半导体基板上对被切割了的半导体晶片进行积层,在不同层的半导体晶片之间以可传递信号的方式进行连接,之后,对被积层了的所述半导体晶片部分进行切割的半导体装置的制造方法,其具有:第1步骤,在所述半导体基板的所述主面上形成绝缘层;第2步骤,将主面侧具有半导体集成电路的被切割了半导体晶片,以使与所述主面相反侧的面面对所述绝缘层并介由所述绝缘层的方式,在所述半导体基板上所形成的半导体晶片上进行积层;及第3步骤,形成可使不同层的半导体晶片之间进行信号传递的连接部。
- 半导体装置制造方法
- [发明专利]半导体晶片的分割方法-CN200410078793.5无效
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卡尔·H.·普利韦瑟
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株式会社迪思科
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2004-09-17
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2005-03-30
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H01L21/304
- 本发明的半导体晶片分割方法是在表面由划道划分多个半导体芯片形成的半导体晶片分割为各个半导体芯片的半导体晶片分割方法,通过至少包括:仅留下上述半导体晶片外周区,沿着划道形成深度相当于完成半导体芯片厚度的槽的槽形成工序;在该槽形成后的半导体晶片表面上配设保护构件的保护构件配設工序;研磨上述半导体晶片的背面,露出上述槽,把上述半导体晶片分割为各个半导体芯片的分割工序,沿着划道形成后的切削槽不是到外周端缘,所以在此后一边供给研磨水一边研磨半导体晶片背面分割的工序中,没有从外周端缘来的脏研磨水向切削槽渗透并污染半导体芯片的担心,而且,不会丧失ID标记信息的认识性和表示晶向的切口的识别性,能很有效地分割。
- 半导体晶片分割方法
- [发明专利]包括桥式晶片的半导体封装-CN201911219865.6在审
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任尚赫;成基俊
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爱思开海力士有限公司
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2019-12-03
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2021-01-15
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H01L23/498
- 提供一种包括桥式晶片的半导体封装。一种半导体封装包括第一半导体晶片和第二半导体晶片、第一重分布线结构和第二重分布线结构、第一桥式晶片以及垂直连接器。第一半导体晶片和第一桥式晶片设置在第一重分布线结构上。第一桥式晶片被设置成提供第一半导体晶片与第一桥式晶片之间的水平差,第一桥式晶片的高度小于第一半导体晶片的高度。第二重分布线结构具有突出部,当从平面图观察时,突出部从第一半导体晶片的侧表面横向突出,并且第二重分布线结构的底表面与第一半导体晶片的顶表面接触。第二半导体晶片设置在第二重分布线结构上。垂直连接器设置在桥式晶片和第二重分布线结构的突出部之间以支撑突出部。
- 包括晶片半导体封装
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