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[发明专利]一种沉积碳化硅薄膜的方法-CN201911138118.X在审
发明人：陈波;李楠;李培源;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积碳化硅薄膜的方法，通过将基体放入沉积反应区域内，对所述基体做预处理，其中，所述预处理为采用一束紫外射线照射所述基体表面；向所述沉积反应区域内通入第一前驱体源，所述基体与所述第一前驱体源沉积反应形成一层碳化硅分子层；向所述沉积反应区域内通入惰性气体吹扫所述基体表面去除沉积反应的副产物和未反应的第一前驱体。通过将紫外射线照射基体表面，再通入含硅碳氢的前驱体源，基体与前驱体源发生沉积反应形成一层碳化硅分子层薄膜，将基体表面沉积反应的副产物和未反应的第一前驱体吹扫去除，解决了不易在已形成图型的半导体器件的表面沉积碳化硅薄膜的技术问题
一种沉积碳化硅薄膜方法

[发明专利]一种硅铝复合涂层及其制备工艺-CN201810301528.0在审
发明人：伍廉奎;吴景佳;侯广亚;唐谊平;曹华珍;郑国渠 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C25D9/08 文献下载
摘要：一种硅铝复合涂层的制备工艺，所述制备工艺包括：1)除去钛基合金基体表面的氧化物，然后清洗、干燥；2)混合无水乙醇、水和前驱体硅酸烷基酯，以酸液调节pH值，室温下搅拌得到前驱体溶液；3)以经处理的钛基合金基体作为工作电极，以铂片或石墨作为对电极，以前驱体溶液作为电沉积的溶液体系，进行电沉积，电沉积结束后水洗烘干，在钛基合金基体表面得到微纳米氧化物涂层；4)在生长于钛基合金基体表面的微纳米氧化物涂层表面制备金属铝涂层；5)对表面覆盖有两层涂层的钛基合金进行热处理，即得到生长在钛基合金基体表面的硅铝复合涂层。
钛基合金基体表面硅铝复合制备工艺电沉积微纳米氧化物硅酸烷基酯金属铝涂层前驱体溶液表面覆盖工作电极溶液体系涂层表面无水乙醇热处理石墨对电极前驱体氧化物铂片烘干两层驱体酸液制备清洗生长

[发明专利]复合包覆的三元前驱体及其制备方法和应用-CN202111408479.9在审
发明人：李永光;李长东;刘更好;李伟权;阮丁山;蔡勇 -专利权人：广东邦普循环科技有限公司;湖南邦普循环科技有限公司;湖南邦普汽车循环有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合包覆的三元前驱体及其制备方法和应用，该材料包括三元前驱体以及附着于所述三元前驱体表面的包覆层，所述包覆层由第一金属离子与第一聚阴离子经沉淀反应而得；本发明的金属离子与聚阴离子可发生沉淀反应形成沉淀物，由于三元前驱体表面有大量的活性位点，有较高的比表面能，易于沉淀物附着生长，进而在三元前驱体表面形成分布均匀的包覆层。将该包覆的前驱体烧结成正极材料后，一部分包覆物可以在材料表面形成保护层，减少Ni和Co的溶出，抑制正极材料与电解液的副反应，减少材料表面的不可逆相变，从而提高三元材料的稳定性；另一部分包覆物可以渗透到材料内部
复合三元前驱及其制备方法应用

[发明专利]一种碳包覆磷酸锰铁锂正极材料及其制备方法-CN202310466983.7在审
发明人：王吉青;刘超;李阳;魏海涛 -专利权人：湖北亿纬动力有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明提供一种碳包覆磷酸锰铁锂正极材料的制备方法，包括如下步骤：预制含有锂元素、锰元素、铁元素和磷元素的前驱体，通过对前驱体进行表面改性以在前驱体的表面附着离子型聚合物，得到离子型前驱体，将离子型前驱体与碳源物料混合本发明通过对前驱体进行表面改性，使离子型聚合物紧密地附着在前驱体表面，并利用离子型聚合物具有分散度高、负载面积大的特点，使后续加入的碳源均匀附着在离子型前驱体表面，由此形成碳包覆层具有优异的成膜特性，致密完整
一种碳包覆磷酸锰铁正极材料及其制备方法

[发明专利]一种含贵金属中间层的复合陶瓷涂层及其制备工艺-CN201810290836.8有效
发明人：伍廉奎;吴景佳;侯广亚;唐谊平;曹华珍;郑国渠 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C25D3/50 文献下载
摘要：一种含贵金属中间层的复合陶瓷涂层的制备工艺，包括以下制备步骤：1)除去钛基合金基体表面氧化物，并清洗和干燥；2)以硫酸和铂化合物配制前驱体溶液A；3)钛基合金作为工作电极，金属铂或石墨作为对电极，置于前驱体溶液A中进行电沉积，水洗烘干得到镀铂钛基合金；4)将无水乙醇、硝酸钠溶液和前驱体硅酸烷基酯配制成混合液，并以酸调节混合液pH值，搅拌得到前驱体溶液B；5)镀铂钛基合金作为工作电极，金属铂或石墨作为对电极，置于前驱体溶液B中进行二次电沉积，水洗烘干在基体表面得到微纳米氧化物涂层；6)对表面具有微纳米氧化物涂层的镀铂钛基合金进行热处理，热处理后在基体表面得到含贵金属中间层的复合陶瓷涂层。
一种贵金属中间层复合陶瓷涂层及其制备工艺

[发明专利]阴极活性材料的低温制备-CN201880088882.8在审
发明人：埃弗特·乔纳森·范登哈姆 -专利权人：荷兰应用自然科学研究组织TNO
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01M4/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备富集有阴极活性材料的集流体表面的方法。该方法包括通过将至少两种金属盐和一种或更多种有机酸溶解在第一溶剂中来制备前驱体溶液，将一种或更多种碱性化合物和一种或更多种非金属盐加入到前驱体溶液中，通过添加第二溶剂来稀释前驱体溶液，通过将至少部分的经稀释的前驱体溶液设置在集流体表面材料上来制备经表面处理的集流体，并在氧化或惰性气氛下以500℃以下的温度加热该经表面处理的集流体，从而使经稀释的前驱体溶液分解。
阴极活性材料低温制备

[发明专利]一种钙钛矿层制备方法、钙钛矿电池及叠层电池-CN202111453076.6在审
发明人：顾小兵;丁蕾;何永才;王永磊;何博;徐希翔 -专利权人：西安隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：其中，在基底上制备金属卤化物层后，采用离子液体溶液对金属卤化物层进行络合处理形成第一钙钛矿前驱体，采用第二钙钛矿前驱体与所述第一钙钛矿前驱体接触形成钙钛矿层，络合处理使得第一钙钛矿前驱体中形成络合物，从而控制第一钙钛矿前驱体与第二钙钛矿前驱体的反应速率，减少了第一钙钛矿前驱体表面形成钙钛矿后对第二钙钛矿前驱体的阻碍，保证了第二钙钛矿前驱体与第一钙钛矿前驱体的充分接触，有效改善了金属卤化物残留、前驱体表面富集等问题，提高了钙钛矿层的质量。
一种矿层制备方法钙钛矿电池

[发明专利]一种改性镍锰二元前驱体的制备方法-CN202011525245.8有效
发明人：张宝;王振宇 -专利权人：浙江帕瓦新能源股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C01G53/00 文献下载
摘要：本发明属于锂离子电池材料领域，主要提出一种改性镍锰二元前驱体的制备方法。该方法为在二元前驱体的共沉淀过程中加入分散剂及偶联剂。偶联剂填充前驱体生长过程中内部孔隙，同时其中金属元素与锰元素形成柱状结构，能够稳定二元前驱体内部结构；分散剂包覆在前驱体表面，稳定前驱体表面活性，维持反应体系的均匀性。前驱体材料混锂高温煅烧过程中，前驱体内部偶联剂分解，形成内部碳包覆以及金属掺杂；表面分散剂分解，形成外部碳包覆。煅烧得到的正极材料循环性能和倍率性能得到改善。
一种改性二元前驱制备方法

[发明专利]一种太阳能电池吸收层薄膜制造方法-CN202011110086.5在审
发明人：徐维键 -专利权人：江苏佳佳新能源有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：包括以下步骤：衬底的准备，将铜、锌、锡三种元素沉积于所述衬底表面，以形成铜锌锡前驱体；将硫元素沉积于所述铜锌锡前驱体表面，形成堆叠式铜锌锡硫前驱体；将堆叠式铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述堆叠式铜锌锡硫前驱体从室温升温至600‑650℃，自然冷却至室温，得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。本发明的优点在于：将铜、锌、锡三种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡前驱体，再将硫元素沉积于铜锌锡前驱体表面，形成堆叠式铜锌锡硫前驱体，制备工艺简单，制造方便，且铜锌锡硫薄膜太阳电池的转换效率提高。
一种太阳能电池吸收薄膜制造方法

[发明专利]选择性原子层沉积成膜方法-CN201110309574.3无效
发明人：姜谦 -专利权人：姜谦
申请日： 2011-10-13 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：该方法首先在基体表面做不一样的处理，使其表面具有不同的化学键，或呈现不同的导电性，或具有不同的表面极性，或具备不同的表面张力。其成膜原理：第一个前驱体在基体表面发生选择性化学反应，其次利用惰性气体去除反应室里未反应的多余的前驱体和副产物。然后将第二种前驱体以脉冲形式通入到基体表面，与第一种前驱体反应形成需要的选择性表面。
选择性原子沉积方法

[发明专利]固体表面产品及用于制造其的方法-CN201680063825.5有效
发明人：埃内斯托·蒙顿·马丁 -专利权人：阿赛松动力学
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C08G18/48 文献下载
摘要：本发明涉及被称为固体表面的产品的领域。特别地，本发明涉及固体表面材料的前驱体液体组合物、由所述液体组合物形成的固体组合物以及它们的制造方法。
固体表面产品用于制造方法

[发明专利]一种氧化镓包覆的高镍三元锂电池正极材料及制备方法-CN201810224080.7在审
发明人：陈庆;廖健淞 -专利权人：成都新柯力化工科技有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明提出一种氧化镓包覆的高镍三元锂电池正极材料及制备方法，首先通过共沉淀法制备高镍三元正极前驱体材料，之后将前驱体材料置于沸水中浸泡搅拌，逐滴加入金属镓，直至前驱体表面被白色胶状物完全包覆，过滤后与锂源混合球磨本发明克服了现有氧化物表面包覆层无法有效前驱体表面残留碱含量进行调控的缺陷，通过氢氧化镓凝胶分解为具有缺陷尖晶石结构的γ‑Ga2O3，与锂源及前驱体表面的残碱形成固溶体，抑制表面的残碱含量以及电解液对电极的腐蚀
高镍电池正极材料包覆的三元锂氧化镓锂源前驱体表面前驱体材料固溶体残碱制备正极三元正极材料白色胶状物充放电过程高温稳定性缺陷尖晶石氧化物表面前驱混合球磨快速加热氢氧化镓水中浸泡完全包覆包覆层电解液对电极共沉淀金属镓碳酸锂产气凝胶煅烧过滤残留分解腐蚀调控

[发明专利]锂离子电池正极复合材料的制备方法-CN201210373357.5有效
发明人：李亚栋;陆君;王威扬;彭卿 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01M4/505 文献下载
摘要：本发明涉及一种锂离子电池正极复合材料的制备方法，其包括：制备一复合前驱体，该复合前驱体包括正极活性物质前驱体及包覆于该正极活性物质前驱体表面的包覆层前驱体；以及将该复合前驱体与锂源化合物反应，使该复合前驱体中的包覆层前驱体及正极活性物质前驱体同时锂化
锂离子电池正极复合材料制备方法

[发明专利]一种新型硅铝涂层及其制备工艺-CN201810316281.X有效
发明人：伍廉奎;王亚楠;达明花;侯广亚;唐谊平;曹华珍;郑国渠 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： C25D15/00 文献下载
摘要：一种新型硅铝涂层的制备工艺，所述制备工艺包括：1)去除钛基合金基体表面的氧化物，然后清洗、干燥；2)将无水乙醇、水和前驱体硅酸烷基酯混合，并在混合后中加入铝粉，以酸调节pH值，室温下搅拌得到前驱体溶液；3)以经处理的钛基合金基体作为工作电极，以铂片或石墨作为对电极，并以前驱体溶液作为电沉积的溶液体系进行电沉积，沉积完成后将工作电极水洗后烘干，从而在钛基合金基体表面得到微纳米氧化物复合涂层；4)将覆盖有微纳米氧化物复合涂层的钛基合金在氩气气氛中进行热处理，即在钛基合金基体表面制备得到新型硅铝涂层。
一种新型涂层及其制备工艺

[发明专利]碳基体表面TaC涂层及其制备方法-CN201610641746.X在审
发明人：王松;沈小松;李伟;蒋进明;张健 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2016-08-08 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳基体表面TaC涂层及其制备方法，该碳基体表面TaC涂层包括含Ta和C的杂化配合物与碳基体的碳原位反应生成的TaC，以及含Ta和C的杂化配合物分解生成的TaC。制备方法包括以下步骤：（1）合成TaC前驱体；（2）配制TaC前驱体料浆；（3）高温分段热处理。该碳基体表面TaC涂层具有与基体结合强度高、结晶性好、均匀致密、耐腐蚀和热稳定性突出等优点。
基体表面 tac 涂层及其制备方法

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