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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板冷却装置和基板冷却方法-CN202010099333.X在审
  • 萨米·K·哈托;乔治·萨科;马修·C·法雷尔;迪安·焦拉 - 日新离子机器株式会社
  • 2020-02-18 - 2020-09-22 - H01L21/67
  • 本发明提供能利用简易结构均匀地冷却基板的基板冷却装置和基板冷却方法。基板冷却装置包括：腔室，接收所述基板，并且具备多个侧壁部，多个侧壁部包围基板且在与所述基板的垂直侧面平行的垂直方向延伸；至少一个气体导入口，形成在所述腔室的第一侧壁部，在与所述基板的所述上表面和所述下表面平行的横向上，向所述腔室内导入冷却气体；以及至少一个气体出口，形成在与所述腔室的所述第一侧壁部隔着所述基板位于相反侧的所述腔室的第二侧壁部，将所述冷却气体的至少一部分沿着所述横向导向所述腔室的外部，所述气体导入口和所述气体出口以下述方式定位：使所述冷却气体以在所述横向横穿所述基板的所述上表面上和所述下表面上的方式流动。
  • 冷却装置方法
  • [发明专利]基板冷却方法以及基板冷却装置-CN200810149010.6有效
  • 柿村崇 - 大日本网屏制造株式会社
  • 2008-09-18 - 2009-04-22 - H01L21/00
  • 本发明提供一种基板冷却方法以及基板冷却装置，通过搬运辊搬运基板的同时更价格低廉并高效地冷却基板。冷却处理部(1C)在通过搬运辊(14)对加热处理之后的基板(S)进行搬运的同时，通过该搬运辊(14)冷却基板(S)。即，在通过搬运辊(14)搬运基板(S)的同时，通过喷嘴(26)向搬运辊(14)的内部喷洒常温的冷却水，该冷却水因所述搬运辊(14)所具有的热量而汽化(蒸发)并向外部排出，从而冷却搬运辊(14)，由此冷却基板
  • 冷却方法以及装置
  • [实用新型]承载基板和真空共晶炉-CN202320306195.7有效
  • 金卫刚;张新峰;贺毅;吕瑞波;陈昀;王国兴;孙艺晓;马建辉;王玉龙;刘孟江 - 烟台华创智能装备有限公司
  • 2023-02-23 - 2023-10-24 - B23K1/008
  • 本实用新型涉及一种承载基板和真空共晶炉，承载基板包括基板本体、加热机构和冷却机构，所述加热机构包括连接于基板本体的加热器，所述加热器设置为多组，且均匀连接于基板本体的下端面；所述冷却机构包括冷却通路，所述冷却通路包括贯通于基板本体的多组贯通通路以及将所述贯通通路依次连通的连接管本实用新型提供的承载基板，采用在基板本体的内部开设贯通通路，并在贯通通路中直接通入冷却液体进行冷却的形式，其冷却效率更高，相比于现有技术中在基板本体的内部连接冷却用管路、或者在基板本体的表面嵌入冷却管路进行间接冷却的形式，本冷却方案的冷却效果更佳。
  • 承载真空共晶炉
  • [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201480062816.5有效
  • 梶原雄二 - 佳能安内华股份有限公司
  • 2014-10-21 - 2019-01-11 - H01L21/02
  • 本发明的目的是提供一种能够在较清洁的状况下传送基板的、用于冷却基板的基板处理装置和方法。作为本发明的基板处理装置的实施方式的基板冷却装置(100)设置有室(101)、提供冷却的冷却单元(109、112)、基板保持件(103)和遮蔽件(111)，基板保持件(103)具有用于将基板(S)载置于所述室的基板载置面(103a)并且基板保持件(103)被冷却单元冷却，遮蔽件(111)具有围绕所述室内的基板载置面的侧方的侧壁部并且遮蔽件(111)被冷却单元冷却。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]一种金属熔丝增材制造基板冷却装置和方法-CN202110857857.5有效
  • 刘学刚;曹磊;蒋立君 - 重庆通用工业（集团）有限责任公司
  • 2021-07-28 - 2023-03-28 - B22F12/20
  • 本发明提供一种金属熔丝增材制造基板冷却装置和方法，其中，装置包括：底板、冷却回路、储液室、基板、成形件和防飞溅盖板；冷却回路和储液室均设置在底板上，冷却回路内流动有冷却液；储液室围绕冷却回路设置，且通过溢流槽与冷却回路连通，溢流槽设置在储液室上端，储液室还连接有微型水泵，通过微型水泵将储液室中的冷却液输送至冷却回路；基板设置在冷却回路上，且通过基板装夹与冷却回路进行固定，成形件设置在基板上；防飞溅盖板穿过成形件设置在冷却回路上本发明能够达到自动循环冷却基板的效果，且保证基板最大面积的接触冷却液，提升冷却效率和冷却效果，实现增材制造的续工作，还能够通过基板装夹实现基板的快速更换。
  • 一种金属熔丝增材制造冷却装置方法
  • [发明专利]基板冷却装置、基板冷却方法及存储介质-CN201010508961.5无效
  • 水永耕市;久我恭弘;金田正利 - 东京毅力科创株式会社
  • 2010-10-12 - 2011-05-04 - H01L21/00
  • 本发明提供基板冷却装置、基板冷却方法及存储介质。该基板冷却装置能够均匀性较高地冷却基板。基板冷却装置包括：载置台，其包括用于载置基板的载置面；突起，其设置于上述载置面，用于支承上述基板的背面；制冷剂流路，其为了冷却上述载置面而设置于上述载置台，供制冷剂流通；气体喷出口，其在上述载置面的周缘部沿着周向设有多个，喷出用于冷却基板的冷却气体；气体吸引口，其设置在上述载置面的中央部，用于吸引上述冷却气体；槽，其设置于上述载置面，用于使冷却气体朝向基板的周向扩散。通过这种结构，能够均匀性较高地对载置于上述载置面的基板进行冷却。
  • 冷却装置方法存储介质
  • [实用新型]一种IGBT功率模块及包含其的功率模组-CN201721513164.X有效
  • 刘金锋;刘志强;赵慧超;文彦东;郭璐璐 - 中国第一汽车股份有限公司
  • 2017-11-14 - 2018-05-11 - H02M7/00
  • 本实用新型提供了一种IGBT功率模块，包括多个IGBT功率模块子模块和两个冷却基板，多个IGBT功率模块子模块沿冷却基板的长度方向按照预定间隔布置并通过封装体封装在两个冷却基板之间，冷却基板包括第一冷却基板和第二冷却基板，第一冷却基板和第二冷却基板在不与IGBT功率模块子模块接触的表面上形成有由多个突起构成的冷却部，并且第一冷却基板和第二冷却基板分别在两端开设有相互连通以分别构成第一导水口和第二导水口的开口。本实用新型采用双面直接冷却提高散热效率，与冷却液均匀接触，降低过热失效风险，提高功率模块输出电性能。
  • 一种igbt功率模块包含模组
  • [发明专利]曝光装置、曝光方法和曝光机-CN202110220327.X在审
  • 郝征;李志丹;唐世弋 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2021-02-26 - 2022-08-30 - G03F7/20
  • 该曝光装置包括冷却台和至少一个光学检测单元；光学检测单元至少设置于冷却台的上下一侧，光学检测单元用于在冷却台对待冷却基板进行冷却时检测待冷却基板的表面。在冷却台对待冷却基板进行冷却时，光学检测单元同时对待冷却基板进行表面的异物检测。当光学检测单元检测到待冷却基板上无异物时，在待冷却基板进行冷却后被传输至曝光装置的曝光台，采用光罩在待冷却基板上形成图案化结构时，可以避免待冷却基板上的异物划伤光罩，提高了曝光装置的可靠性，同时减少了光罩的损耗
  • 曝光装置方法
  • [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201710707152.9有效
  • 西山耕二;井上和宏 - 株式会社斯库林集团
  • 2017-08-17 - 2021-07-20 - H01L21/67
  • 本发明的目的是提供一种基板处理装置和基板处理方法，可以根据曝光装置的状态来抑制基板的处理效率的下降并将适当状态的基板搬入曝光装置中。曝光处理前的基板被搬入到载置兼冷却部并被冷却。利用搬送装置对冷却了的基板进行保持并将其搬出载置兼冷却部。在曝光装置可接收基板的情况下，通过搬送装置将从载置兼冷却部搬出来的基板搬送到曝光装置。在曝光装置不能接收基板的情况下，通过搬送装置将从载置兼冷却部搬出来的基板搬入到冷却兼缓冲部。在冷却兼缓冲部中，维持基板的温度。在曝光装置变成可接收基板之后，通过搬送装置将基板从冷却兼缓冲部搬出并搬送到曝光装置。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]多级式基板干燥装置-CN201210499841.2无效
  • 申垣浩 - 聪明太华有限公司
  • 2012-11-30 - 2014-06-04 - H01L21/67
  • 本发明涉及能够快速均匀地加热多张大面积基板，干燥性能和去除装置内的烟雾的效果好的多级式基板干燥装置。多级式基板干燥装置包括：多个基板干燥模块，配置成沿着上下方向隔开规定间隔地层压的形态，以将基板嵌入于内部的状态加热基板来使基板干燥；基板冷却模块，配置于基板干燥模块的下侧，以将基板嵌入于内部的状态冷却基板；框架，提供用于垂直层压设置多个基板干燥模块和基板冷却模块的空间；模块移动单元，设置于框架，用于以使各基板干燥模块和基板冷却模块在框架上沿着水平方向移动的方式支撑基板干燥模块；以及排气模块，分别与基板干燥模块及基板冷却模块相结合，用于将基板干燥模块的内部及基板冷却模块内部的气体单独地排出。
  • 多级式基板干燥装置
  • [发明专利]一种电池包冷却板、冷却装置及其制备方法-CN202111313058.8在审
  • 张新;罗冬;刘振勇;黄敏 - 岚图汽车科技有限公司
  • 2021-11-08 - 2022-03-18 - H01M10/613
  • 本发明公开了一种电池包冷却板，包括第一基板，其由可形变的铝板制；第二基板，其由可形变的铝板制成，且与第一基板间隔设置；侧板，其一端连接第一基板，另一端连接第二基板，能够与第一基板和第二基板围合形成中空结构；熔合部，其填充于第二基板和第一基板之间，能够通过吹胀形成冷却液通道；连接块，其设置在第一基板上，且与冷却液通道联通，用于连接冷却液管路；其中，第一基板、第二基板、侧板和连接块一体钎焊成型。本发明还公开了具有该电池包冷却板的电池包冷却装置及其制备方法，采用吹胀技术制成的电池包冷却板及冷却装置，可以根据不同应用环境，调整冷却板的厚度、冷却液通道参数，以使得所冷却装置具有较为优异的散热性能。
  • 一种电池冷却装置及其制备方法
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