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[发明专利]基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法-CN202010056471.X有效
发明人：刘辰光;刘俭;陈刚 -专利权人：南京恒锐精密仪器有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法，装置包括偏振环形光照明模块、偏振环形光扫描模块和共焦检偏探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息，实现兼具表面及亚表面缺陷一体化检测功能；同时利用样品结构不对称性对不同方向单波矢照明光场激励产生极性散射和相邻观测点自相关累积量差异，实现超分辨测量
基于偏振相关暗场显微测量装置方法

[发明专利]基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法-CN202010059147.3有效
发明人：刘辰光;刘俭;陈刚 -专利权人：南京恒锐精密仪器有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法，装置包括偏振环形光照明模块、偏振环形光扫描模块和共焦检偏探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息，实现兼具表面及亚表面缺陷一体化检测功能；同时利用样品结构不对称性对不同方向单波矢照明光场激励产生极性散射和相邻观测点自相关累积量差异，实现超分辨测量
基于偏振相关暗场显微测量装置方法

[发明专利]一种基于光谱共焦快速聚焦的测量装置和测量方法-CN202111327015.5有效
发明人：王志伟;李祥;朱小琴;袁春辉;曹葵康;周明 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G02B7/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于光谱共焦快速聚焦的测量装置和测量方法，属于光学影像测量技术领域，测量装置包括影像测量光学系统、色散共焦位移传感模块和控制器，所述影像测量光学系统的光路与色散共焦位移传感模块的光路在出射端部分融合同轴，且影像测量光学系统的聚焦面与色散共焦位移传感模块的量程中心共面；其中，所述色散共焦位移传感模块通过出射包含可见光和不可见光的复色光，分别用于聚焦点指示和被测物上表面至影像测量光学系统之间距离的测量。本方案具有聚焦点指示功能，在影像测量系统的相机图像中可见指示光斑能快速聚焦定位到影像清晰面，色散共焦工作于不可见光波段，不影响影像测量的成像质量和精度，整体结构简单，成本低，便于推广应用。
一种基于光谱快速聚焦测量装置测量方法

[发明专利]显微成像离焦量自动补偿系统、方法及显微镜-CN202310987502.7在审
发明人：霍英东 -专利权人：南昌虚拟现实研究院股份有限公司
申请日： 2023-08-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种显微成像离焦量自动补偿系统、方法及显微镜，属于显微镜自动对焦技术领域；该系统包括盖玻片、物镜、管镜、相机、电子变焦透镜及离焦测量模块；离焦测量模块包括无偏振分束镜及双色镜、激光器和位置探测器，无偏振分束镜及双色镜与样品成像光路非平行设置，激光器发出的光经无偏振分束镜、双色镜、电子变焦透镜、管镜、物镜及盖玻片的处理形成光斑，通过位置探测器获取轴向离焦量，根据轴向离焦量获取焦距应变量，电子变焦透镜根据焦距应变量改变自身焦距实现样品物平面的焦面锁定通过本发明，实现在无需机械位移的情况下对样品不同深度成像，及自动补偿长时间显微成像中因显微镜自身稳定性以及外界干扰引起的离焦量变化。
显微成像离焦量自动补偿系统方法显微镜

[发明专利]自准直式差动共焦透镜焦距测量方法-CN201210011997.1有效
发明人：赵维谦;杨佳苗;邱丽荣;吴华玲;李佳 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种自准直式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到差动共焦测量方法中，进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是，引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射，并配合差动共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位，进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入差动共焦测量方法，利用差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置，具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点，可用于透镜焦距的高精度检测。
准直式差动透镜焦距测量方法

[发明专利]一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法-CN201811497522.1在审
发明人：刘俭;刘婧;王宇航;刘辰光;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。本发明采用遮挡式环形光发生器生成环形光，采用环形光束照明样品，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，装置简单易于实现，适用于亚表面无损检测。
亚表面遮挡式光阑环形光暗场共焦物镜无损检测装置探测分光棱镜发生器反射光散射光入射共焦显微技术光学精密测量光电探测器亚表面损伤待测样品环形光束激光汇聚结合探测收集透镜探测针孔无损检测样品信息照明样品点光源信噪比准直镜检测遮挡

[发明专利]激光扫描共焦显微镜的矢量式扫描方法-CN201210264322.8有效
发明人：黄维;张运海;薛晓君;高飞;张龙;陈瑞涛 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2012-07-27 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光扫描共焦显微镜的矢量式扫描方法，包括：对样本进行快速预扫描；对快速预扫描后的样本进行ROI(感兴趣区域)识别；基于所述的ROI识别对样本进行矢量式扫描路径生成，生成的扫描路径覆盖样本ROI；根据所述的矢量式扫描路径对样本ROI进行矢量精细扫描：在控制器的驱动下，对扫描振镜按照矢量式扫描路径进行转动，激光扫描共焦显微镜获取样本的扫描图像。
激光扫描显微镜矢量方法

[实用新型]一种用于激光扫描共焦显微镜的载物台-CN200920076803.X有效
发明人：吴建春;于艳;方园 -专利权人：宝山钢铁股份有限公司
申请日： 2009-06-22 - 公布日： 2010-04-07 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于激光扫描共焦显微镜的载物台，其包括支撑套管、旋动螺杆和多个调节螺栓，所述旋动螺杆的一端位于所述支撑套管内，并与所述支撑套管螺纹连接，所述多个调节螺栓分布在所述支撑套管的管壁上，并与所述支撑套管螺纹连接本实用新型的用于激光扫描共焦显微镜的载物台，可安装各种大小规格的试样，方便了试样的安装，并且方便了在观测过程中对试样位置的调节。
一种用于激光扫描显微镜载物台

[发明专利]差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置-CN201010121848.1有效
发明人：赵维谦;邱丽荣;杨佳苗;潘莹莹;孙若端;沙定国;苏大图 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜，使用自准直法，对透镜光轴进行高精度调整，使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性，实现透镜表面顶点的精确定位，并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角同时在测量光路中引入环形光瞳，削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合，提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理，具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点，可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。
差动共焦内调焦透镜光轴厚度测量方法装置

[发明专利]一种用于激光共焦扫描显微镜下刀具刃口测量的夹具-CN201610266938.7有效
发明人：宋树权;吴卫东;张红蕾;王建林 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2016-04-26 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于激光共焦扫描显微镜下刀具刃口测量的夹具，属于夹具领域，包括安装角调整装置、定位夹持装置以及转角调整装置；所述安装角调整装置包括相铰接的底板及支撑板，所述转角调整装置包括与所述支撑板转动连接的测量板，所述测量板的转动平面与测量板所处平面重合；所述定位夹持装置设于该测量板上。这种结构的夹具应用在刀具刃口的测量过程中，能够精确灵活地对刀具进行调整，从而测量出更准确的数值。
一种用于激光扫描显微镜刀具刃口测量夹具

[发明专利]三波长光纤线阵列差分共焦显微探测方法与装置-CN202111259128.6在审
发明人：刘林仙;冯江涛 -专利权人：山西大学
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01B9/04 文献下载
摘要：本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长光纤线阵列差分共焦显微探测装置和方法，装置包括：三波长光源，三波长光源发出的包括三个不同波长的照明光束经第一光纤阵列法兰入射到光纤阵列耦合器后形成狭缝照明光束入射到色散物镜；色散物镜用于对各个波长的狭缝照明光束进行聚焦，形成三条共面的线测量光束并照射在被测样品表面上形成测量相交线；从被测样品表面反射的线测量光束经色散物镜后沿原光路返回至光纤阵列耦合器，然后经第二光纤阵列法兰后入射至探测模块，得到被测样品在三个不同波长下的线共焦响应强度数据，进而计算得到被测样品表面的位移信息。本发明测量精度高、测量速度快。
波长光纤阵列差分共焦显微探测方法装置

[发明专利]高分辨率共聚焦显微镜-CN200810117071.4有效
发明人：俞育德;李运涛;余金中 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2008-07-23 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明是一种高分辨率共聚焦显微镜，包括激发光部分，由光源、调制器阵列、扩束透镜组成；样品台部分，由样品台、光学调制器阵列、物镜构成；收集光部分，由聚焦透镜、光学调制器阵列、光电倍增管构成；图像处理部分，本发明提出的高分辨率共聚焦显微镜具有光学调制器阵列，通过电学控制方法实现光学调制器阵列的开光控制，取代传统共聚焦显微镜的机械旋转部件和电动快门；并能够实现对扫描区域组合和孔径的自由控制。控制光学调制器阵列全部打开，则显微镜为大视场显微镜；控制调制器阵列局部打开，则为共焦扫描显微镜。可以实现样品的选区共焦成像。
高分辨率聚焦显微镜

[发明专利]一种线聚焦彩色共焦三维表面高度测量装置及方法-CN202110051658.5有效
发明人：易定容;叶一青;刘奕乐;蒋威;孔令华 -专利权人：宁波五维检测科技有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种线聚焦彩色共焦三维表面高度测量装置及方法，涉及物体成像领域，包括线聚焦彩色共焦照明结构和线聚焦彩色共焦成像结构；线聚焦彩色共焦照明结构按照光传播方向的顺序排列的部件包括复色光源、聚焦透镜组、半反半透镜、狭缝、准直透镜组、色散成像透镜组；线聚焦彩色共焦成像光路包括与照明结构共用的色散成像透镜组、准直透镜组、狭缝、半反半透镜，以及光谱相机、图像处理单元。该线聚焦彩色共焦测量装置结构简单，照明与成像光路共用狭缝，因而工程造价低；辅以扫描运动装置能够连续不停的对被测量物体不同表面位置的高度进行测量，快速完成大尺寸三维表面形貌测量。
一种聚焦彩色三维表面高度测量装置方法

[发明专利]具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜-CN200510123581.9无效
发明人：赵维谦;冯政德 -专利权人：哈尔滨工业大学;赵维谦
申请日： 2005-11-21 - 公布日： 2006-04-12 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
有数纳米横向分辨力反射光束焦干显微镜

[发明专利]一种检测升温过程中炉渣流动性的方法-CN201410645482.6在审
发明人：张殿伟;张勇;苏展;马泽军 -专利权人：首钢总公司
申请日： 2014-11-10 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： G01N11/00 文献下载
摘要：将炉渣颗粒在混样器中混匀制成炉渣样品；取炉渣样品置于铂金片上，然后将铂金片放到Al₂O₃坩埚底部，再将Al₂O₃坩埚置于高温共焦显微镜内；将高温共焦显微镜按给定温度制度升温，在升温过程中，通过高温共焦显微镜观察炉渣样品的变化；将炉渣样品从静止状态到体积发生快速收缩时的温度，作为炉渣初始液相生成温度，将炉渣样品开始快速流动时的温度，作为炉渣开始流动温度
一种检测升温过程炉渣流动性方法