专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]在传输中自动晶圆定中方法及设备-CN202210281765.1在审
  • B.殷;J.T.穆拉;V.曾;A.高利克;N.斯派克 - 博鲁可斯自动化美国有限责任公司
  • 2016-07-13 - 2022-07-15 - H01L21/68
  • 一种基底处理设备,基底处理设备包括:具有传输臂的晶圆传输设备,传输臂包括端部执行器;臂姿态确定性特征,臂姿态确定性特征与基底传输设备构成整体并且被设置为使得基底处理设备的静态检测传感器在传输臂径向运动的情况下在传输中检测至少一个臂姿态确定性特征的至少一个边缘;以及控制器,控制器被配置为使得对边缘的检测实现对比例因子的确定,比例因子在传输中识别传输臂的至少热膨胀变化,并且包括运动效应解析器,运动效应解析器被配置为从在传输中对边缘的检测来确定所确定的比例因子和与传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间的离散关系,从而在传输中确定传输臂的至少热膨胀变化。
  • 传输自动晶圆定中方法设备
  • [发明专利]一种激光对中装置及其对中方-CN201310378839.4有效
  • 甘继荣;陈金康;陈建栋;王雄飞 - 南京南化建设有限公司
  • 2013-08-28 - 2013-11-27 - G01C15/00
  • 本发明涉及一种激光对中装置,该装置主要由激光仪,假轴,假轴瓦,支撑腿和平衡装置等构成,激光仪安装在假轴上,在假轴瓦两侧0°,180°,225°和315°处分别设有螺纹孔,支撑腿通过螺纹连接在假轴瓦上,且支撑腿的延长线经过圆心。本发明还涉及一种使用该激光对中装置进行对中操作的方法,根据不同轴瓦的直径,通过调节支撑腿的长度使得假轴的轴心与轴瓦的轴心处于同一水平线,然后通过激光仪进行对中操作。本装置简单实用可靠,能够解决传统多级轴瓦的对中操作中遇到的困难,对中精度高,可以降低多级轴瓦对中操作的专业性,节省轴瓦对中操作的人力。
  • 一种激光装置及其方法

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