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[发明专利]电子级多晶硅的制备方法-CN201810230520.X有效
发明人：严大洲;杨永亮;万烨;汤传斌;张升学;姜利霞;石何武;张志刚;赵雄 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子级多晶硅的制备方法。该制备方法包括：将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯，得到三氯氢硅，氯硅烷液体包括三氯氢硅；及采用氢气与三氯氢硅进行还原反应，得到电子级多晶硅，提纯步骤包括：对三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行第一精馏过程，得到三氯氢硅粗产品；将三氯氢硅粗产品与络合剂发生络合反应，以使三氯氢硅粗产品中的杂质转化为络合物，得到中间产物，其中杂质包括B、P和Fe、Al组成的组中的一种或多种；及将中间产物进行第二精馏过程，以去除络合物，得到三氯氢硅。将纯度较高的三氯氢硅原料与氢气发生还原反应，得到电子级多晶硅。上述制备方法的工艺流程成熟简单，具有能耗低、产品质量稳定等优点。
三氯氢硅电子级多晶硅制备氯硅烷液体粗产品三氯氢硅液体还原反应络合物提纯精馏络合反应氢气发生质量稳定氢气工艺流程络合剂去除能耗成熟转化

[发明专利]三氯氢硅汽化装置-CN201110160672.5无效
发明人：刘畅;王岭;张维;刘维 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-06-15 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明涉及到多晶硅生产装置，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置，属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本发明的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量较好。
三氯氢硅汽化装置

[实用新型]三氯氢硅汽化装置-CN201120201661.2无效
发明人：刘畅;王岭;张维;刘维 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-06-15 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及到多晶硅生产装置，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置，属于多晶硅生产技术领域。本实用新型的三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本实用新型的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量好。
三氯氢硅汽化装置

[发明专利]一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置-CN202310184198.2在审
发明人：齐婷婷;刘兴平;苏国良;施杰;黄金锋;阿扎提阿热帕提 -专利权人：新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置，包括鼓泡汽化器、气液分离器，还包括膜层单元、控制系统，所述鼓泡汽化器上连接有三氯氢硅进料管线和氢气进料管线，分别用于通入三氯氢硅液体和氢气，所述膜层单元设于所述鼓泡汽化器内，用于使氢气在鼓泡汽化器中的三氯氢硅液体内产生纳微气泡；所述控制系统，用于跟踪鼓泡汽化器的液位变化及三氯氢硅液体的进料流量变化对三氯氢硅液体的进料流量进行调节，以及，按照预设的三氯氢硅液体进料流量与氢气进料流量的比例，对氢气的进料流量进行调节，从而准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料流量及其进料比例。本发明能够降低能耗，准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料量及其进料比例。
一种用于多晶生产还原进料装置

[发明专利]制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法-CN201310287574.7无效
发明人：石何武;严大洲;肖荣晖;汤传斌;毋克力;杨永亮;郑红梅 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2013-07-10 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明提供了一种制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法。该方法包括将氢气、三氯氢硅液体和二氯二氢硅液体的混合物进行汽化过程，以便获得多晶硅还原生产用混合气供料。由此，不仅可以提高三氯氢硅的一次转化率，进而提高多晶硅在还原炉内的沉积速率；还可以通过控制参数调整过程中诱发二氯二氢硅的气相沉积，从而提高了三氯氢硅的还原利用率。
制备多晶还原生产混合供料方法

[实用新型]一种三氯氢硅汽化器-CN202221714515.4有效
发明人：何隆;孙运德;宋高杰;李东东;刘兴平;梁建龙;许巧莉 -专利权人：内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F22B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种三氯氢硅汽化器，包括：壳体、换热管；所述换热管的至少部分设置在所述壳体的内部，所述换热管的一端设置有饱和蒸汽入口，所述换热管的另一端设置有凝液出口；所述壳体的外壁设置有三氯氢硅液体入口，且所述三氯氢硅液体入口与所述壳体内部连通；所述壳体的外壁设置有三氯氢硅气体出口，且所述三氯氢硅气体出口与所述壳体内部连通；所述壳体的底部设置有高沸物排放口，且所述高沸物排放口与所述壳体内部连通。本实用新型通过对三氯氢硅汽化器的结构优化，解决了高沸物在三氯氢硅汽化器内富集的问题，并且增加了三氯氢硅汽化器运行过程的稳定性和安全性，达到了提升多晶硅质量和稳定生产系统的目的。
一种三氯氢硅汽化器

[发明专利]一种三氯氢硅附除杂的方法及系统-CN202211480624.9在审
发明人：张梦泽;范协诚;宋高杰;杨典;苏国良;张小军;夏进京 -专利权人：新特能源股份有限公司;内蒙古新特硅材料有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01D15/26 文献下载
摘要：本发明公开一种三氯氢硅吸附除杂的方法，包括：将含有杂质的三氯氢硅液体通入到液固流化床中，并加入吸附剂，对所述三氯氢硅液体进行吸附除杂；将吸附杂质后的吸附剂排出到再生反应器进行再生处理；将再生后的吸附剂返回到所述液固流化床再次进行吸附除杂本实发明还公开一种三氯氢硅吸附除杂的系统。本发明可对三氯氢硅除杂工艺进行优化，实现在线连续再生，大大提高吸附除杂效率。
一种三氯氢硅附方法系统

[发明专利]三氯氢硅混合气除杂处理方法和装置-CN201010257626.2无效
发明人：林韬;张华端;陈少华 -专利权人：天威四川硅业有限责任公司
申请日： 2010-08-19 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了三氯氢硅混合气除杂处理方法和装置，采用四氯化硅液体对三氯氢硅混合气在气汽混合物增湿塔中进行一次喷淋，通过四氯化硅吸附金属氯化物和硅尘，并在三氯氢硅混合气中通入湿氢反应生成SiO2，通过SiO2吸附三氯氢硅混合气中的硼、磷；再在鼓泡塔中对三氯氢硅混合气进行四氯化硅液体二次喷淋，进一步脱除金属氯化物，得到三氯氢硅合成气产品；同时，用于收集两次喷淋后得到四氯化硅的鼓泡塔釜连接到洗涤液精馏塔，将带杂质的的四氯化硅进行精馏提纯，再循环用于喷淋工序；本发明采用湿法除杂，可充分去除三氯氢硅混合气中的杂质，得到高品质精制三氯氢硅，并且实现了四氯化硅的循环利用，从而实现了节能降耗减排。
三氯氢硅混合杂处方法装置

[发明专利]连续蒸馏式三氯氢硅气化供给装置-CN201480042111.7有效
发明人：丸谷新治 -专利权人：化工技术边界股份有限公司
申请日： 2014-07-22 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种用于半导体产业等的三氯氢硅气化供给装置。本发明的三氯氢硅气化供给装置包括：蒸发器1，具备作为载气的氢气的导入口3，还具有使液体三氯氢硅气化的加热装置16；冷凝器2，具有用低于气化的三氯氢硅气体的蒸气压的饱和蒸气压对应的温度使气体凝结的冷却装置另外，控制过程中，使被调节浓度的三氯氢硅·氢气混合气体总送气流量和蒸发器内液体三氯氢硅17的温度比例联动。
连续蒸馏式三氯氢硅气化供给装置方法

[实用新型]一种精馏塔和储罐相结合的节能装置-CN201120068132.X无效
发明人：杨龙军;都龙甫;张扬;张智利;易成刚 -专利权人：洛阳世纪新源硅业科技有限公司
申请日： 2011-03-16 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： B65D90/30 文献下载
摘要：一种精馏塔和储罐相结合的节能装置，是由：精馏塔，三氯氢硅蒸气管道，混合气管道，冷媒装置，尾气管道，下回流管道，上回流管道，产品料管道，三氯氢硅产品储罐，平衡管道，出料管道构成。使精馏塔系统在系统压力和该压力下的三氯氢硅露点温度一定时，三氯氢硅从塔顶进入冷媒装置充分进行热量交换，热量交换后冷凝成三氯氢硅液体一部分进入储罐中，储罐中的液位增高，使三氯氢硅蒸气通过平衡管道和从塔顶出来的三氯氢硅蒸气混合进入冷媒装置，使三氯氢硅蒸气进一步回收，降低了多晶硅生产的投资成本和生产成本，减少了大量的氢气浪费，提高效益，完善了系统稳定和操作安全的要求，无污染，有利于环境保护。
一种精馏塔相结合节能装置

[发明专利]提纯三氯氢硅的方法-CN201811141132.0有效
发明人：刘见华;万烨;赵雄;严大洲;赵宇;常欣 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种提纯三氯氢硅的方法。该方法包括以下步骤：S1，将三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应，得到的反应产物；S2，对反应产物进行精密过滤，将反应产物中的固体和反应液体产物分离；以及S3，将反应液体产物输入精馏塔脱除杂质、轻组分和重组分后得到三氯氢硅产品。应用本发明的技术方案，采用反应精馏工艺，将原料中的低氯含量的甲基氯硅烷通过反应转化为高氯含量的甲基氯硅烷，同时，将B、P等转化为高沸点络合物，再通过精馏进行分离，最终得到高纯的三氯氢硅。
提纯三氯氢硅方法

[发明专利]三氯氢硅汽化工艺-CN201110160665.5无效
发明人：刘畅;王岭;张维;刘维 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-06-15 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明涉及到多晶硅生产工艺，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化工艺，属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化工艺，包括（1）精馏得到的高纯三氯氢硅液体经计量后进入蒸发器蒸发；（2）蒸发得到的三氯氢硅气体与经计量后的氢气在气体混合器混合，得到混合气。本发明的三氯氢硅汽化工艺，采用三氯氢硅气体与氢气进行混合，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉内多晶硅硅棒的均匀生长，生长出的多晶硅产品晶粒均匀、外观质量较好。
三氯氢硅汽化工艺

[发明专利]制备三氯氢硅的装置-CN201410345651.4在审
发明人：司文学;严大洲;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-18 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备三氯氢硅的装置，包括：精馏塔本体，精馏塔本体内自上而下依次限定出精馏区、反应区和蒸馏区；四氯化硅入口，四氯化硅入口设置在精馏区和反应区之间；二氯二氢硅入口，二氯二氢硅入口设置在反应区和蒸馏区之间；重组分出口，重组分出口设置在蒸馏区的底部；轻组分出口，三氯氢硅出口设置在精馏区的顶部；再沸器，再沸器具有液体入口和气体出口，并且液体入口与重组分出口相连，气体出口与蒸馏区相连；以及冷凝器，冷凝器具有气态轻组分入口、回流液出口和三氯氢硅出口，气态轻组分入口与轻组分出口相连，回流液出口与精馏区相连。该装置可以解决二氯二氢硅无法大规模处理的难题和二氯二氢硅转化率低的问题。
制备三氯氢硅装置

[实用新型]制备三氯氢硅的装置-CN201420400497.1有效
发明人：司文学;严大洲;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-18 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备三氯氢硅的装置，包括：精馏塔本体，精馏塔本体内自上而下依次限定出精馏区、反应区和蒸馏区；四氯化硅入口，四氯化硅入口设置在精馏区和反应区之间；二氯二氢硅入口，二氯二氢硅入口设置在反应区和蒸馏区之间；重组分出口，重组分出口设置在蒸馏区的底部；轻组分出口，三氯氢硅出口设置在精馏区的顶部；再沸器，再沸器具有液体入口和气体出口，并且液体入口与重组分出口相连，气体出口与蒸馏区相连；以及冷凝器，冷凝器具有气态轻组分入口、回流液出口和三氯氢硅出口，气态轻组分入口与轻组分出口相连，回流液出口与精馏区相连。该装置可以解决二氯二氢硅无法大规模处理的难题和二氯二氢硅转化率低的问题。
制备三氯氢硅装置

[发明专利]三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法-CN201410534538.0有效
发明人：沈海峰;刘松 -专利权人：江西赛维LDK太阳能多晶硅有限公司
申请日： 2014-10-11 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种三氯氢硅合成尾气的回收装置，包括依次管道连接的除尘器、缓冲罐、压缩机、冷却器、加热器、反应器、存渣罐及回收罐，三氯氢硅合成尾气经过除尘器进行除尘后得到三氯氢硅混合气体后进入缓冲罐缓冲压力，进入压缩机加压后进入冷却器，得到氯硅烷液体和氢气混合气体，氢气混合气体进入加热器中加热后进入反应器中反应得到三氯氢硅混合物，进入存渣罐中杂质沉淀后进入回收罐中回收。本发明提供的三氯氢硅合成尾气的回收装置通过设置冷却器及反应器，将三氯氢硅合成尾气中的氯硅烷成分及氢气混合气体通过冷却分离，通入反应器中进行化学反应得到三氯氢硅，使得三氯氢硅合成尾气作为原料能够再次用于工艺生产
三氯氢硅合成尾气回收装置及其方法

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