[发明专利]化学机械研磨组合物无效
| 申请号： | 97116569.6 | 申请日： | 1997-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1092696C | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李宗和 | 申请（专利权）人： | 长兴化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明关于一种化学机械研磨组合物，其包含5～50重量％的煅制二氧化硅，及0.1～10重量％的有机碱，所述碱选自如式(I)所示的羟烷基胺式中R、R′及R″各自表示氢或碳数1～6的羟烷基，及如式(II)所示的多胺基碱式中R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7各自表示氢、碳数1～6的烷基、胺烷基或羟烷基，n1为0～4的整数，而n2及n3各自为0～6的整数。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨组合物，其包含5～50重量％的煅制二氧化硅、0.1～20重量％的有机碱、以及余量的水，所述碱选自如式(I)所示的羟烷基胺：式中R、R′及R″各自表示氢或碳数1～6的羟烷基，及如式(II)所示的多胺基碱：式中R1、R2、R3、R4、R5、R6及R7各自表示氢、碳数1～6的烷基、碳数1～6的胺烷基或碳数1～6的羟烷基，或者R1与R2、R1与R3、或R1与R6可以成环，n1为0～4的整数，而n2及n3各自为0～6的整数。
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