[实用新型]用于离子化学和表面热处理中的调制式离子电源无效
| 申请号： | 95203653.3 | 申请日： | 1995-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN2208741Y | 公开（公告）日： | 1995-09-27 |
| 发明（设计）人： | 祁琦;王万泉;王曙文;康裕民 | 申请（专利权）人： | 武汉离子化学热处理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430012 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于交流和直流(脉冲)之间以及用于电源的变换方法及其设备，确切说，本实用新型涉及一种调制式离子电源。该调制式离子电源采用如下技术方案，将调制技术应用于离子化学热处理工艺和离子沉积工艺中所应用的离子电源中，其具体实施方案为在现有可调直流电源后边加特殊斩波器环节，使其输出脉冲幅度和宽度为可调直流脉冲，该脉冲为高、低频混合调制，通过功放级，将信号输入开关管的栅极，构成直流电源后增加的斩波器环节。实施本装置有高效、简便、易操作等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 化学 表面 热处理 中的 调制 电源 | ||
【主权项】：
1、一种用于离子化学和表面热处理中的调制式离子电源，包含一可调直流电源，一续流限流环节，其特征在于：该离子电源是在可调直流电源后加一由开关管及触发控制电路组成的特殊斩波器环节，其中的开关管发射极与可调直流电源连接，集电极与续流电路中的二极管与线圈结合点连接，栅极接控制线路。
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- 2002-09-25 - 2003-04-16 -
- 本发明提供一种不论样品的结构如何，总是稳定地消除包含倍率误差的像畸变的带电束装置。在具有带电束生成源10、聚光透镜12、偏转器14、物镜16的带电束装置1中，具有调整供给物镜16的电流同时输出带电束EB聚焦在样品20的表面上时的物镜16的焦点控制电流I1的焦点位置检测部28、检测样品表面高度的高度检测器51、根据检测的样品20的高度计算用于控制物镜16的电流Io的焦点控制信号运算部24、计算控制电流差ΔI(I1－Io)的焦点控制信号差值运算部32、根据控制电流差ΔI计算带电束EB的倍率变化量ΔMag的倍率变化量运算部34和根据倍率变化量ΔMag生成用于修正供给偏转器14的控制信号的偏转控制信号的偏转控制部36。
- 用紫外线分光计测定等离子体聚合的聚合物层的装置-01800178.5
- 姜成熙;李铉旭 - LG电子株式会社
- 2001-02-06 - 2002-08-07 -
- 一种用紫外线分光计测定等离子体聚合的聚合物层的装置,包括聚合室,用于通过发射等离子体在基底表面上形成聚合的聚合物层;紫外线探测器,不接触地安装在聚合室中形成的聚合的聚合物层,用于向聚合物层传播和从聚合物层接收紫外线;和紫外线分光计,用于分析紫外线探测器输入的信号。用此装置,具有由等离子体连续聚合的聚合物层的基底的表面的特性能够不接触地测定,并且能够在不影响室内的真空度等处理参数的情况下进行。
- 专利分类
