[实用新型]多阴极脉冲电弧蒸发离化源无效
| 申请号： | 90200971.0 | 申请日： | 1990-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN2068969U | 公开（公告）日： | 1991-01-09 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;遇衍澄 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利事务所 | 代理人： | 付雷杰 |
| 地址： | 100081*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多阴极脉冲电弧蒸发离化源，各阴极的供电电源相互独立、可调，各阴极间装有中间电极，各阴极与中间电极间装有绝缘陶瓷环，在真空室内装上这种用不同导电材料制作的同轴多阴极脉冲电弧蒸发离化源，可在工件上同时或交替地镀复多种不同金属或合金，获得高性能的膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 脉冲 电弧 蒸发 离化源 | ||
【主权项】：
1、一种多阴极脉冲电弧蒸发离化源，由一个中心柱状阴极2和一个或多个外筒状阴极6组成，其特征在于：中心柱状阴极2与外筒状阴极6分别与脉冲电源1相连，中心柱状阴极2与外筒状阴极6由不同导电材料制作，中心柱状阴极2与外筒状阴极6之间及各外筒状阴极6之间装有筒形中间电极4，中心柱状阴极2和外筒状阴极6与中间电极4间装有内陶瓷环3和外陶瓷环5，内陶瓷环3和外陶瓷环5的上沿7表面涂有难熔金属膜11，上沿7锥形端表面上留有引弧隙10，引弧隙10内镀有簿层金属膜9，该源所需磁场可用电磁场线圈21产生。
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