[实用新型]多阴极脉冲电弧蒸发离化源无效
| 申请号： | 90200971.0 | 申请日： | 1990-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN2068969U | 公开（公告）日： | 1991-01-09 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;遇衍澄 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利事务所 | 代理人： | 付雷杰 |
| 地址： | 100081*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 脉冲 电弧 蒸发 离化源 | ||
【权利要求书】：
1、一种多阴极脉冲电弧蒸发离化源，由一个中心柱状阴极2和一个或多个外筒状阴极6组成，其特征在于：中心柱状阴极2与外筒状阴极6分别与脉冲电源1相连，中心柱状阴极2与外筒状阴极6由不同导电材料制作，中心柱状阴极2与外筒状阴极6之间及各外筒状阴极6之间装有筒形中间电极4，中心柱状阴极2和外筒状阴极6与中间电极4间装有内陶瓷环3和外陶瓷环5，内陶瓷环3和外陶瓷环5的上沿7表面涂有难熔金属膜11，上沿7锥形端表面上留有引弧隙10，引弧隙10内镀有簿层金属膜9，该源所需磁场可用电磁场线圈21产生。
2、如权利要求1所述的多阴极脉冲电弧蒸发离化源，其特征在于：内陶瓷环3及外陶瓷环5的上沿7端表面为柱面形。
3、如权利要求1所述的多阴极脉冲电弧蒸发离化源，其特征在于：脉冲电源1为一台脉冲电源1顺序供电，亦可采用脉冲电源加直流电源。
4、如权利要求1所述的多阴极脉冲电弧蒸发离化源，其特征在于：该源所需磁场可用永磁铁产生。
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