[实用新型]一种定位精准的半导体精密加工模具

摘要

本实用新型涉及半导体加工模具领域，公开了一种定位精准的半导体精密加工模具，包括底座，所述底座上端面活动连接有下模具，所述下模具上端面开设有模具室，所述模具室内底端固定连接有多个防磨气垫。本实用新型中，相比于现有的定位精准的半导体精密加工模具，该加工模具能够防止加工模具长时间的运作中导致下模具受损，维修成本较大，该装置能够通过托盘、第一滑块、支撑杆、减震块、第二滑块和弹簧，有利于对压板下压的过程中产生的压力起到抵消作用，同时能够防止底部过硬，导致半导体受损，也能够通过凹槽、红外线监察灯和报警器，便于在有人员靠近时，及时的发出警报，防止人员受到伤害。