[实用新型]一种硅片排片吸料装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片排片吸料装置，包括滑动连接有滑块的支架，滑块上安装有电动推杆，电动推杆上安装有安装座，安装座上安装有真空吸盘，真空吸盘的顶部设置有气孔，气孔固定连通有抽真空泵，真空吸盘上设置有电子气阀，安装座的两侧连接吹扫风管，吹扫风管的的一侧设置有吹扫风口，吹扫风口固定连通有气泵。本实用新型使用真空吸盘对硅片吸附，保证每次只能吸附到一片硅片，同时吹扫风管对被吸附的硅片进行吹扫，使被吸附的硅片如果粘贴了其他硅片，会被吹扫分开，使最终被吸附起来的硅片只有一片，避免出现机械手抓取到多片，或者抓取的硅片下方黏贴其他的硅片而在移动过程中下落摔碎的现象。