[实用新型]一种单芯片六轴传感器及其加速度计有效
| 申请号： | 202320169870.6 | 申请日： | 2023-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN219608956U | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘尧;凌方舟;蒋乐跃;丁希聪 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01C19/00;G01P1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单芯片六轴传感器及其加速度计，Z轴加速度计包括：第一锚点；与第一锚点弹性相连的纵长型的旋转梁；位于旋转梁的第一侧的第一Z轴质量块，其与旋转梁相连；位于旋转梁的与第一侧相对的第二侧的第二Z轴质量块，其与旋转梁相连；位于第二Z轴质量块的远离所述旋转梁的一侧的第三Z轴质量块，其与第二Z轴质量块弹性相连；第二Z轴质量块和第一Z轴质量块沿旋转梁做跷跷板式运动，而第三Z轴质量块由第二Z轴质量块带动随第二Z轴质量块一同运动，在第三Z轴质量块的运动被阻挡时，第三Z轴质量块能够相对所述第二Z轴质量块发生扭转。与现有技术相比，本实用新型可以增强加速度计在低压腔体中的可靠性，降低生产成本和提高集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 传感器 及其 加速度计 | ||
【主权项】：
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