[实用新型]一种单芯片六轴传感器及其加速度计

权利要求书

1.一种加速度计，其特征在于，其包括Z轴加速度计，所述Z轴加速度计能够感应到Z轴加速度，所述Z轴加速度计包括：

第一锚点；

与所述第一锚点弹性相连的纵长型的旋转梁；

位于所述旋转梁的第一侧的第一Z轴质量块，其与所述旋转梁相连；

位于所述旋转梁的与第一侧相对的第二侧的第二Z轴质量块，其与所述旋转梁相连；

位于所述第二Z轴质量块的远离所述旋转梁的一侧的第三Z轴质量块，其与所述第二Z轴质量块弹性相连；

其中，所述第二Z轴质量块和第一Z轴质量块沿所述旋转梁做跷跷板式运动，而所述第三Z轴质量块由所述第二Z轴质量块带动随所述第二Z轴质量块一同运动，在所述第三Z轴质量块的运动被阻挡时，所述第三Z轴质量块能够相对所述第二Z轴质量块发生扭转。

2.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述Z轴加速度计还包括：

位于所述旋转梁的第一侧的第一空气阻尼单元，所述第一空气阻尼单元包括第二锚点、连接在所述第二锚点上的若干第一固定阻尼梳齿以及连接在所述第一Z轴质量块上的若干第一可动阻尼梳齿，所述若干第一固定阻尼梳齿和所述若干第一可动阻尼梳齿呈叉指排布，以形成若干空气阻尼对；

位于所述旋转梁的第二侧的第二空气阻尼单元，所述第二空气阻尼单元包括第三锚点、连接在第三锚点上的若干第二固定阻尼梳齿以及连接在所述第二Z轴质量块上的若干第二可动阻尼梳齿，所述若干第二固定阻尼梳齿和所述若干第二可动阻尼梳齿呈叉指排布，以形成若干空气阻尼对。

3.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于，

所述第一空气阻尼单元位于所述第一Z轴质量块和所述旋转梁之间，

所述第二空气阻尼单元位于所述第二Z轴质量块和所述旋转梁之间。

4.根据权利要求3所述的加速度计，其特征在于，

所述第一锚点为多个，部分所述第一锚点位于所述旋转梁的第一侧，另外部分所述第一锚点位于所述旋转梁的第二侧；

所述第一空气阻尼单元为多个，其中部分所述第一空气阻尼单元将所述第一锚点作为所述第二锚点使用，以与若干所述第一固定阻尼梳齿连接；

所述第二空气阻尼单元为多个，其中部分所述第二空气阻尼单元将所述第一锚点作为所述第三锚点使用，以与若干所述第二固定阻尼梳齿连接。

5.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，

所述Z轴加速度计还包括第一弹性梁，

所述第一锚点通过所述第一弹性梁与所述旋转梁相连。

6.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，

所述Z轴加速度计还包括第一Z轴检测电极、第二Z轴检测电极和非敏感电极，

所述第一Z轴检测电极位于第一Z轴质量块的下方，所述第二Z轴检测电极位于第二Z轴质量块的下方，所述非敏感电极位于第三Z轴质量块的下方；

当感应到Z轴加速度输入时，会使得所述第一Z轴质量块、第二Z轴质量块和第三Z轴质量块以所述旋转梁为轴发生跷跷板式运动，所述第一Z轴检测电极检测与所述第一Z轴质量块的距离变化，第二Z轴检测电极检测与所述第二Z轴质量块的距离变化。

7.根据权利要求6所述的加速度计，其特征在于，

所述Z轴加速度计还包括限位结构，所述限位结构放置于所述第一Z轴检测电极邻近所述第一Z轴质量块的一侧表面；所述限位结构放置于所述第二Z轴检测电极邻近所述第二Z轴质量块的一侧表面；

在所述第三Z轴质量块随着所述第二Z轴质量块一同向靠近第二Z轴检测电极方向运动时，所述第三Z轴质量块会被所述非敏感电极阻挡，从而使得第三Z轴质量块能够相对第二Z轴质量块发生摆动。

8.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于，所述Z轴加速度计还包括第三空气阻尼单元，

所述第三空气阻尼单元包括第四锚点、连接在第四锚点上的若干第三固定阻尼梳齿以及连接在所述第三Z轴质量块上的若干第三可动阻尼梳齿，所述若干第三固定阻尼梳齿和所述若干第三可动阻尼梳齿呈叉指排布，以形成若干空气阻尼对。