[发明专利]一种碳化硅陶瓷及其制备方法在审
申请号: | 202310812352.6 | 申请日: | 2023-07-04 |
公开(公告)号: | CN116789454A | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 李华民;张慧;王力;李靖晗;包根平 | 申请(专利权)人: | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/622;C04B35/638 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 智业 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请涉及陶瓷材料的技术领域,具体公开了一种碳化硅陶瓷及其制备方法。该碳化硅陶瓷的制备方法包括:造粒;成型;包膜;烧结;造粒步骤中:将碳化硅微粉95‑97份、高纯度酚醛树脂1‑1.5份、导热填料0.2‑1.3份以及碳化硼0.5‑1份混合均匀后,进行造粒,获得碳化硅粉粒;碳化硅微粉的纯度为95%以上;导热材料中,石墨烯、纳米碳管、炭黑和银粉的重量比为(0.2‑2):(0.4‑1.8):(0.5‑3.5):(0.1‑1.2);包膜步骤中,将成型后获得的陶瓷胚体包裹聚乙烯层。本申请通过同时在制备方法中添加导热填料和包裹聚乙烯膜,制得的碳化硅陶瓷低裂纹,具有更好的产品质量和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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