[发明专利]电池片制备方法及光伏组件

摘要

本公开实施例涉及光伏组件领域，提供一种电池片制备方法及光伏组件，方法包括：提供至少一个批次硅片，每一批次硅片包括标准硅片和测试片，对每一批次硅片进行如下的工艺步骤：对同一批次硅片中标准硅片背面进行刻蚀工艺，标准硅片背面形成多个塔基；在刻蚀工艺之后，在同一工艺步骤中，对同一批次的标准硅片和测试片进行预处理工艺；在等待时间后，获取实测厚度；基于实测厚度和任意标准硅片背面上的多个塔基的平均尺寸，获取预测厚度；基于预测厚度与目标厚度的差值，确定在标准硅片背面形成隧穿氧化层的工艺参数，并采用工艺参数在标准硅片背面形成隧穿氧化层，至少有利于提高不同批次硅片背面的氧化层厚度的均一性。