[发明专利]利用网络分析仪测试纳米级薄膜介电常数与Q值的方法在审
| 申请号： | 202310439446.3 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116559544A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 张辉;毛飞龙;侯永琪;朱一凡;殷国栋;倪中华 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 房婉琼 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米级薄膜电学性能测试技术领域，特别是涉及一种利用网络分析仪测试纳米级薄膜介电常数与Q值的方法。包括如下步骤：S1：在待测试薄膜表面制备电极，并与待测试薄膜组成电容器；S2：使用探针台将电极与网络分析仪进行连接，并在连接前对电路进行阻抗匹配；S3：测量待测薄膜在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21参数；S4：利用S3测试出的S参数，计算出不同频率下薄膜的电容与Q值；S5：利用S4所得出的电容，计算出不同频率下薄膜的介电常数。本发明具有可以同时测出薄膜Q值的优势；并且可以在GHz频率下测试，具有测试频率高的优势。本发明实现了对纳米级薄膜介质介电常数和Q值的同时测试，具有测试结果准，测试频率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 网络分析 测试 纳米 薄膜 介电常数 方法 | ||
【主权项】：
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