[发明专利]一种导电铌酸锂靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202310352885.0 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116396076A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 朱伟 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙) 32420 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种导电铌酸锂靶材的制备方法，涉及溅射靶材领域，旨在提供一种铌酸锂靶材，其技术方案要点是：S1：配置C粉、Nb |
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| 搜索关键词： | 一种 导电 铌酸锂靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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