[发明专利]一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构

摘要

本发明提供了一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构，包括有真空侧接地线，真空侧接地线的一端与下电极连接，在工艺腔上开设有安装孔，安装孔安装有接地线本体，且接地线本体与工艺腔绝缘连接，真空侧接地线的另一端与接地线本体连接，接地线本体连接有大气侧接地线，大气侧接地线一侧与工艺腔连接，大气侧接地线上连接有可变电阻，接地线本体还连接有检测机构，检测机构连接有控制模块，控制模块根据检测结果控制可变电阻的大小，改变大气侧接地线的通断。本发明能够及时的监控真空侧接地线的断裂数量和断裂位置，在局部真空侧接地线断裂的情况下，不需要立马对工艺腔进行保养维护，延长保养工艺腔周期，能够提高设备的产能。