[发明专利]一种LGS压电晶体及其生长方法在审

专利信息
申请号: 202310122802.9 申请日: 2023-02-16
公开(公告)号: CN116103763A 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 罗毅;龚瑞;刘照俊;王玉 申请(专利权)人: 合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司
主分类号: C30B29/34 分类号: C30B29/34;C30B15/00
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 安朋
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种LGS压电晶体及其生长方法,属于晶体生长技术领域,包括以下步骤:将包覆Ga2O3、La2O3、SiO2配料,压块,烧结,得到晶体生长原料;将晶体生长原料置于铱金坩埚中,转移至提拉炉的炉腔中,充入保护气体,加热至1470‑1500℃使坩埚内部原料熔化,升温至1520‑1550℃,保温5‑10h使熔体稳定,然后降温至1500℃将已固定在籽晶杆上的LGS籽晶引入至熔体液面,实现接种,并开始以20‑30rpm速度旋转,1‑1.5mm/h提拉速度生长,经过缩颈、扩肩、等径、收尾和原位退火,得到内部组分均一、无包裹体、无开裂等缺陷且直径大于80mm的LGS压电晶体。
搜索关键词: 一种 lgs 压电 晶体 及其 生长 方法
【主权项】:
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