[发明专利]红外探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种红外探测器及其制作方法。所述红外探测器包括：衬底以及依序层叠于所述衬底上的N型晶格渐变层、N型接触层、吸收层和P型接触层；所述N型晶格渐变层从所述衬底至所述N型接触层的方向顺序包括第一层N型晶格层至第M层N型晶格层，M大于等于2；第一层N型晶格层至第M层N型晶格层的晶格参数依序增大或者依序减小，且所述第一层N型晶格层的晶格参数与所述衬底的晶格参数相等，且所述第M层N型晶格层的晶格参数、所述N型接触层的晶格参数以及所述吸收层的晶格参数相等。本发明通过设置N型晶格渐变层，使衬底的晶格参数渐变到吸收层的晶格参数，从而减小衬底和吸收层之间的晶格失配，进而提高红外探测器的质量和性能。