[实用新型]一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置

摘要

本实用新型公开了一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，属于沉积炉技术领域；该装置包括水冷管道；所述水冷管道的侧壁连接有多根分抽水冷管道；所述分抽水冷管道连接有单柱通气管；所述单柱通气管与碳碳气相沉积炉内的沉积室一一对应连接；所述水冷管道还连接有外通气管，所述外通气管与碳碳气相沉积炉位于沉积室以外的炉腔相连接；本实用新型通过在每个沉积室连接单柱通气管，进而对沉积室直接进行抽气，形成了气体分流，使得沉积室在抽气过程中气场分布均匀，提高了沉积效果，保证了碳元素密度均匀性。