[实用新型]一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置

权利要求书

1.一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，包括水冷管道（1）；所述水冷管道（1）的侧壁连接有多根分抽水冷管道（5）；所述分抽水冷管道（5）连接有单柱通气管（8）；所述单柱通气管（8）与碳碳气相沉积炉内的沉积室一一对应连接；所述水冷管道（1）还连接有外通气管（7），所述外通气管（7）与碳碳气相沉积炉位于沉积室以外的炉腔相连接。

2.根据权利要求1所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述水冷管道（1）的底部也连接有单柱通气管（8）。

3.根据权利要求1或2所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述单柱通气管（8）的上部设置有测温测压盲板（2）。

4.根据权利要求1所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述分抽水冷管道（5）通过侧抽连接波纹管（3）与水冷管道（1）相连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述外通气管（7）连接在水冷管道（1）的底部。

6.根据权利要求1所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述水冷管道（1）和分抽水冷管道（5）均设置有水冷夹层，所述分抽水冷管道（5）设置有水嘴（6）。

7.根据权利要求1所述的一种碳碳气相沉积炉用抽气管路装置，其特征在于，所述水冷管道（1）的端部设置有防爆焊接口（4）。