[实用新型]一种掩膜版承载盒有效

专利信息
申请号: 202223193247.9 申请日: 2022-11-30
公开(公告)号: CN218677080U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 徐志成;赵青 申请(专利权)人: 中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 常州市科佑新创专利代理有限公司 32672 代理人: 胥建中
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种掩膜版承载盒,包括:承载盒,镜像设置在所述承载盒外壁上的铰链,设置在所述铰链一侧的承载盖;所述承载盒的内部设置有掩膜版本体;所述承载盒的侧壁上设置有调节部,所述承载盖的侧壁上设置有拼接部;通过将掩膜版本体放置在承载盒的内部,在对掩膜版进行存放时,可以将承载盖盖在承载盒上,此时的拼接部与调节部之间相互贴合,进而能够起到对承载盒密封的效果,防止了灰尘从承载盒与承载盖之间的缝隙中进入;并且,将承载盖闭合在承载盒上时,通过推动调节部,调节部能够朝向承载盒的内部伸入,在此过程中,调节部挤压密封条,使得密封条紧绷,防止没能完全进入密封槽中的密封条也能滑落至密封槽中。
搜索关键词: 一种 掩膜版 承载
【主权项】:
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