[实用新型]一种掩膜版承载盒

说明书

本实用新型提供了一种掩膜版承载盒，包括：承载盒，镜像设置在所述承载盒外壁上的铰链，设置在所述铰链一侧的承载盖；所述承载盒的内部设置有掩膜版本体；所述承载盒的侧壁上设置有调节部，所述承载盖的侧壁上设置有拼接部；通过将掩膜版本体放置在承载盒的内部，在对掩膜版进行存放时，可以将承载盖盖在承载盒上，此时的拼接部与调节部之间相互贴合，进而能够起到对承载盒密封的效果，防止了灰尘从承载盒与承载盖之间的缝隙中进入；并且，将承载盖闭合在承载盒上时，通过推动调节部，调节部能够朝向承载盒的内部伸入，在此过程中，调节部挤压密封条，使得密封条紧绷，防止没能完全进入密封槽中的密封条也能滑落至密封槽中。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版技术领域，具体而言，涉及一种掩膜版承载盒。

背景技术

如图1所示，为现有技术掩膜版，掩膜版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量，而掩膜版并非一次性产品，因此，在不使用时需要通过专用承载盒进行存放，而承载盒往往在长时间使用后，承载盒之间的缝隙会过大，进而灰尘会进入承载盒的内部，掉落至掩膜版上；

因此，设计一种密封效果好的掩膜版承载盒是必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种掩膜版承载盒，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种掩膜版承载盒，包括：承载盒，镜像设置在所述承载盒外壁上的铰链，设置在所述铰链一侧的承载盖；所述承载盒的内部设置有掩膜版本体；所述承载盒的侧壁上设置有调节部，所述承载盖的侧壁上设置有拼接部；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述拼接部能够盖在所述调节部上。

进一步的，所述拼接部包括设置在所述承载盖侧壁上的上连接片，开设在所述上连接片外壁上的上开槽；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述上连接片能够盖在所述调节部上。

进一步的，所述拼接部还包括开设在所述上开槽端面上的卡槽；其中所述上连接片盖在所述调节部上后，所述调节部能够卡入所述卡槽的内部。

进一步的，所述调节部包括设置在所述承载盒侧壁上的下连接片，开设在所述下连接片外壁上的下开槽，以及设置在所述下开槽内部的调节板；其中所述上连接片盖在所述下连接片上时，所述上连接片与所述下连接片能够将所述调节板包裹。

进一步的，所述调节部还包括等间距设置在所述调节板外壁上的调节块，设置在所述下开槽内壁上的齿块，以及设置在所述调节板外壁顶端的卡块，且所述卡块能够在所述调节板上伸缩；其中所述上连接片与所述下连接片将所述调节板包裹后，推动所述调节板，所述调节板能够朝向所述承载盒的内部滑动。

进一步的，所述承载盒的边缘位置处开设有密封槽，所述承载盖的边缘位置处设置有密封条；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述密封条能够卡入密封槽的内部。

进一步的，所述密封槽的一侧开设有开槽，且所述开槽与所述下连接片平行；其中推动所述调节板，所述调节板能够抵触所述密封条朝向所述承载盒的内部滑动。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：通过将掩膜版本体放置在承载盒的内部，在对掩膜版进行存放时，可以将承载盖盖在承载盒上，此时的拼接部与调节部之间相互贴合，进而能够起到对承载盒密封的效果，防止了灰尘从承载盒与承载盖之间的缝隙中进入；

并且，将承载盖闭合在承载盒上时，通过推动调节部，调节部能够朝向承载盒的内部伸入，在此过程中，调节部挤压密封条，使得密封条紧绷，防止没能完全进入密封槽中的密封条也能滑落至密封槽中。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的一种掩膜版承载盒立体图；