[实用新型]一种掩膜版承载盒有效

专利信息
申请号: 202223193247.9 申请日: 2022-11-30
公开(公告)号: CN218677080U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 徐志成;赵青 申请(专利权)人: 中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 常州市科佑新创专利代理有限公司 32672 代理人: 胥建中
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版 承载
【权利要求书】:

1.一种掩膜版承载盒,其特征在于,包括:承载盒(1),镜像设置在所述承载盒(1)外壁上的铰链(5),设置在所述铰链(5)一侧的承载盖(2);

所述承载盒(1)的内部设置有掩膜版本体(6);

所述承载盒(1)的侧壁上设置有调节部(4),所述承载盖(2)的侧壁上设置有拼接部(3);其中

所述承载盖(2)盖在所述承载盒(1)上时,所述拼接部(3)能够盖在所述调节部(4)上。

2.如权利要求1所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述拼接部(3)包括设置在所述承载盖(2)侧壁上的上连接片(31),开设在所述上连接片(31)外壁上的上开槽(311);其中

所述承载盖(2)盖在所述承载盒(1)上时,所述上连接片(31)能够盖在所述调节部(4)上。

3.如权利要求2所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述拼接部(3)还包括开设在所述上开槽(311)端面上的卡槽(312);其中

所述上连接片(31)盖在所述调节部(4)上后,所述调节部(4)能够卡入所述卡槽(312)的内部。

4.如权利要求3所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述调节部(4)包括设置在所述承载盒(1)侧壁上的下连接片(41),开设在所述下连接片(41)外壁上的下开槽(411),以及设置在所述下开槽(411)内部的调节板(42);其中

所述上连接片(31)盖在所述下连接片(41)上时,所述上连接片(31)与所述下连接片(41)能够将所述调节板(42)包裹。

5.如权利要求4所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述调节部(4)还包括等间距设置在所述调节板(42)外壁上的调节块(421),设置在所述下开槽(411)内壁上的齿块(412),以及设置在所述调节板(42)外壁顶端的卡块(422),且所述卡块(422)能够在所述调节板(42)上伸缩;其中

所述上连接片(31)与所述下连接片(41)将所述调节板(42)包裹后,推动所述调节板(42),所述调节板(42)能够朝向所述承载盒(1)的内部滑动。

6.如权利要求5所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述承载盒(1)的边缘位置处开设有密封槽(11),所述承载盖(2)的边缘位置处设置有密封条(21);其中

所述承载盖(2)盖在所述承载盒(1)上时,所述密封条(21)能够卡入密封槽(11)的内部。

7.如权利要求6所述的一种掩膜版承载盒,其特征在于,

所述密封槽(11)的一侧开设有开槽(12),且所述开槽(12)与所述下连接片(41)平行;其中

推动所述调节板(42),所述调节板(42)能够抵触所述密封条(21)朝向所述承载盒(1)的内部滑动。

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