[实用新型]一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉

摘要

本实用新型涉及晶棒测量技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉。包括安装组件、支撑组件、夹具组件、望远镜和数显标尺组件。安装组件设置于单晶炉的观察窗口，安装组件与支撑组件可拆卸连接。支撑组件包括支撑架，支撑架用以支撑数显标尺组件，数显标尺组件能够做直线往复运动。夹具组件能够相对于支撑架滑动，夹具组件与数显标尺组件可拆卸连接，夹具组件能够夹紧望远镜，夹具组件能够与数显标尺组件同步运动。通过安装组件和支撑组件将数显标尺组件安装于观察窗口处，通过望远镜对单晶炉内的晶棒进行观察，然后采用数显标尺组件对晶棒的直径进行测量，无需重新校准定位，使用方便，操作简单，避免测量误差。