[实用新型]一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉

说明书

本实用新型涉及晶棒测量技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉。包括安装组件、支撑组件、夹具组件、望远镜和数显标尺组件。安装组件设置于单晶炉的观察窗口，安装组件与支撑组件可拆卸连接。支撑组件包括支撑架，支撑架用以支撑数显标尺组件，数显标尺组件能够做直线往复运动。夹具组件能够相对于支撑架滑动，夹具组件与数显标尺组件可拆卸连接，夹具组件能够夹紧望远镜，夹具组件能够与数显标尺组件同步运动。通过安装组件和支撑组件将数显标尺组件安装于观察窗口处，通过望远镜对单晶炉内的晶棒进行观察，然后采用数显标尺组件对晶棒的直径进行测量，无需重新校准定位，使用方便，操作简单，避免测量误差。

技术领域

本实用新型涉及晶棒测量技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉。

背景技术

在单晶硅棒提拉过程中，需要对晶棒直径进行测量，目前单晶炉内转动的单晶硅晶棒直径的测量采用的是图像技术，需要用到的工具是测径仪。

目前对于单晶炉内晶棒的测量方式为，将测径仪通过测径仪固定座固定设置于单晶炉顶部的一侧的观察窗口处，通过测径仪的移动指针和刻度尺测量并观测记录晶棒的直径的数值，肉眼观察读取刻度，因此，每次测量之前都需要将刻度尺上的移动指针调节到零刻度线，且将移动指针的初始位置对准晶棒的直径一端，对准后再移动指针，直至指针移动至晶棒的直径的另一端，此时移动指针所指的位置即晶棒的直径，所以说，在测量不同的晶棒直径的时候就需要多次的重新校准移动指针的初始位置即刻度的零位，由此一来，操作步骤多，容易造成测量误差。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉，其解决了在测量不同的晶棒直径的时候就需要多次的重新校准移动指针的初始位置即刻度的零位，由此一来，操作步骤多，容易造成测量误差的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

本实用新型实施例提供一种用于单晶炉的晶棒测径仪，包括安装组件、支撑组件、夹具组件、望远镜和数显标尺组件；

所述安装组件设置于单晶炉的观察窗口，所述安装组件与所述支撑组件可拆卸连接；

所述支撑组件包括支撑架，所述支撑架用以支撑所述数显标尺组件，所述数显标尺组件能够沿所述观察窗口的纵向方向做直线往复运动，以测量出晶棒的直径；

所述夹具组件能够相对于所述支撑架滑动，所述夹具组件与所述数显标尺组件可拆卸连接，所述夹具组件能够夹紧所述望远镜，所述夹具组件能够与所述数显标尺组件同步运动，以使所述望远镜的能够观察单晶炉内的所述晶棒并通过所述数显标尺组件测量所述晶棒的直径。

可选地，所述安装组件包括安装框架和两个固定耳座；

所述安装框架固定安装于所述单晶炉的观察窗口，两个所述固定耳座分别设置于所述安装框架远离所述单晶炉的炉口的一侧两端，且垂直于所述安装框架的所在平面，两个所述固定耳座均通过连接弯板与所述支撑组件可拆卸连接。

可选地，所述支撑架包括支撑板、分别设置于所述支撑板两端的调整板以及设置于所述支撑板顶部端面的支撑滑轨；

所述支撑板的底部端面与所述连接弯板可拆卸连接；

两个所述调整板与所述支撑板的两端端面可拆卸连接；

所述支撑滑轨沿所述支撑板的纵向方向设置，且所述支撑滑轨与所述夹具组件滑动连接。

可选地，所述夹具组件包括与所述支撑滑轨滑动连接的滑块、固定安装于所述滑块顶部的滑块安装板、垂直设置于所述滑块安装板顶部的锁紧块以及设置于所述锁紧块上的夹持主体；