[实用新型]一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉

权利要求书

1.一种用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，包括安装组件(1)、支撑组件(2)、夹具组件(3)、望远镜(4)和数显标尺组件(5)；

所述安装组件(1)设置于单晶炉的观察窗口(6)，所述安装组件(1)与所述支撑组件(2)可拆卸连接；

所述支撑组件(2)包括支撑架(21)，所述支撑架(21)用以支撑所述数显标尺组件(5)，所述数显标尺组件(5)能够沿所述观察窗口(6)的纵向方向做直线往复运动，以测量出晶棒(a)的直径；

所述夹具组件(3)能够相对于所述支撑架(21)滑动，所述夹具组件(3)与所述数显标尺组件(5)可拆卸连接，所述夹具组件(3)能够夹紧所述望远镜(4)，所述夹具组件(3)能够与所述数显标尺组件(5)同步运动，以使所述望远镜(4)的能够观察单晶炉内的所述晶棒(a)并通过所述数显标尺组件(5)测量所述晶棒(a)的直径。

2.如权利要求1所述的用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，所述安装组件(1)包括安装框架(11)和两个固定耳座(12)；

所述安装框架(11)固定安装于所述单晶炉的观察窗口(6)，两个所述固定耳座(12)分别设置于所述安装框架(11)远离所述单晶炉的炉口(9)的一侧两端，且垂直于所述安装框架(11)的所在平面，两个所述固定耳座(12)均通过连接弯板(7)与所述支撑组件(2)可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，所述支撑架(21)包括支撑板(211)、分别设置于所述支撑板(211)两端的调整板(213)以及设置于所述支撑板(211)顶部端面的支撑滑轨(212)；

所述支撑板(211)的底部端面与所述连接弯板(7)可拆卸连接；

两个所述调整板(213)与所述支撑板(211)的两端端面可拆卸连接；

所述支撑滑轨(212)沿所述支撑板(211)的纵向方向设置，且所述支撑滑轨(212)与所述夹具组件(3)滑动连接。

4.如权利要求3所述的用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，所述夹具组件(3)包括与所述支撑滑轨(212)滑动连接的滑块(31)、固定安装于所述滑块(31)顶部的滑块安装板(32)、垂直设置于所述滑块安装板(32)顶部的锁紧块(33)以及设置于所述锁紧块(33)上的夹持主体(34)；

所述锁紧块(33)固定安装于靠近所述安装框架(11)的一侧，所述锁紧块(33)上开设有通孔(331)；

所述夹持主体(34)穿过所述通孔(331)活动安装于所述锁紧块(33)上，所述夹持主体(34)能够夹持所述望远镜(4)，且所述夹持主体(34)相对于所述锁紧块(33)靠近或者远离所述安装框架(11)，以调节所述望远镜(4)距离所述安装框架(11)的横向位置；

所述夹持主体(34)能够沿所述通孔(331)的中心轴向相对于所述锁紧块(33)转动，以调节所述望远镜(4)转动角度。

5.如权利要求4所述的用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，所述夹持主体(34)包括夹持柱(341)和夹持头(342)；

所述夹持柱(341)一端穿过所述通孔(331)，所述夹持柱(341)的另一端与所述夹持头(342)固定连接接，所述夹持头(342)能够夹持所述望远镜(4)。

6.如权利要求5所述的用于单晶炉的晶棒测径仪，其特征在于，还包括锁紧扳手(35)，所述锁紧块(33)的一侧壁开设有与所述通孔(331)相连通的通槽(332)；

所述锁紧块(33)位于所述通槽(332)的上端形成抵接部(333)，所述锁紧块(33)位于所述通槽(332)的下端形成固定部(334)，所述抵接部(333)和所述固定部(334)上开设有与所述锁紧扳手(35)匹配的贯穿螺纹孔，通过旋转所述锁紧扳手(35)调节所述抵接部(333)和所述固定部(334)之间的压紧力以固定所述夹持柱(341)。