[实用新型]集成电路制造设备及其真空管道组件

摘要

本实用新型公开了一种集成电路制造设备及其真空管道组件，真空管道组件包括第一管路、第二管路及中间连接管，第一管路及第二管路均竖直设置，第一管路的底端为封堵结构，中间连接管的进气口与第一管路的侧壁连接，中间连接管的出气口与第二管路连接，中间连接管的进气口与第一管路的底端隔离设置，中间连接管由进气口至出气口方向倾斜向上设置。在本申请提供的真空管道组件通过将第一管路的底端封堵，且气体由第一管路的中间位置进入中间连接管，再进入第二管路，更好的保证上端集成电路制造设备中人为操作掉落的异物、反应腔的生成物、管路内壁的二次副产物等固体不能直接进入干泵，降低了集成电路制造设备的维修成本，延长了干泵的使用寿命。