[实用新型]制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，冷凝管组件包括缓冲组件，缓冲组件包括中心连接条以及多个边缘缓冲板，中心连接条沿第一冷凝介质流通方向活动设置在冷凝管内，多个边缘缓冲板间隔设置在中心连接条两侧。当第一冷凝介质在水泵作用下，由制冷水箱流出，流经需降温的热源时，第一冷凝介质将与设置在冷凝管内的边缘缓冲板相接触，如此，以通过边缘缓冲板减缓第一冷凝介质的流速，增加第一冷凝介质与热源的热交换时间，提高冷凝介质与热源间的热交换效率，进而提高制冷装置的制冷效果。