[实用新型]制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种制冷装置，用于微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；

其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：

中心连接条，沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内；以及，

多个边缘缓冲板，间隔设置在所述中心连接条两侧。

2.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述中心连接条呈中空设置，形成有第一连通腔；

各所述边缘缓冲板内部形成有第二连通腔，且均与所述第一连通腔相连通；

所述第一连通腔和所述第二连通腔内，流通有第二冷凝介质。

3.如权利要求2所述的制冷装置，其特征在于，所述第二冷凝介质包括氨气。

4.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述中心连接条与多个所述边缘缓冲板一体成型设置。

5.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述边缘缓冲板表面设置有通孔，沿所述第一冷凝介质流通方向上，所述通孔的横截面积逐渐减小。

6.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述中心连接条和/或所述边缘缓冲板材质包括弹性橡胶。

7.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，各所述边缘缓冲板远离所述中心连接条端设置有清洁毛刷。

8.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述冷凝管材质包括玻璃。

9.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述第一冷凝介质包括水。

10.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的制冷装置。