[实用新型]制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置

说明书

本实用新型公开一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，冷凝管组件包括缓冲组件，缓冲组件包括中心连接条以及多个边缘缓冲板，中心连接条沿第一冷凝介质流通方向活动设置在冷凝管内，多个边缘缓冲板间隔设置在中心连接条两侧。当第一冷凝介质在水泵作用下，由制冷水箱流出，流经需降温的热源时，第一冷凝介质将与设置在冷凝管内的边缘缓冲板相接触，如此，以通过边缘缓冲板减缓第一冷凝介质的流速，增加第一冷凝介质与热源的热交换时间，提高冷凝介质与热源间的热交换效率，进而提高制冷装置的制冷效果。

技术领域

本实用新型涉及微波应用技术领域，特别涉及一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置。

背景技术

目前人工合成金刚石的方法有高温高压法(HTHP)，直流电弧等离子体喷射法(DCAPJ)，热丝化学气相沉积法(HFCVD)，微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)，其中MPCVD由于其成品质量好，生产污染少等特点，常作为制备高品质金刚石膜的首选方法。

现有的微波等离子体化学气相沉积装置在制备金刚石膜时，会不可避免的产生大量的热量，迫使设备整体温度升高，过高的温度会大大影响金刚石的成品质量，然而，现有技术中，并没有一种制冷装置能很好的解决该问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，旨在提供一种可对微波等离子体化学气相沉积装置实现充分散热的制冷装置。

为实现上述目的，本实用新型提出的制冷装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；

其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：

中心连接条，沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内；以及，

多个边缘缓冲板，间隔设置在所述中心连接条两侧。

可选地，所述中心连接条呈中空设置，形成有第一连通腔；

各所述边缘缓冲板内部形成有第二连通腔，且均与所述第一连通腔相连通；

所述第一连通腔和所述第二连通腔内，流通有第二冷凝介质。

可选地，所述第二冷凝介质包括氨气。

可选地，所述中心连接条与多个所述边缘缓冲板一体成型设置。

可选地，所述边缘缓冲板表面设置有通孔，沿所述第一冷凝介质流通方向上，所述通孔的横截面积逐渐减小。

可选地，所述中心连接条和/或所述边缘缓冲板材质包括弹性橡胶。

可选地，各所述边缘缓冲板远离所述中心连接条端设置有清洁毛刷。

可选地，所述冷凝管材质包括玻璃。

可选地，所述第一冷凝介质包括水。

本实用新型还提出一种微波等离子体化学气相沉积装置，所述微波等离子体化学气相沉积装置包括制冷装置，所述制冷装置包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；

其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：