[实用新型]一种半导体设备真空检测仪器

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备真空检测仪器，涉及半导体设备真空检测技术领域，具体为包括工作台，工作台的上表面设置有氦质谱检漏仪，固定块的上表面通过第一环形架设置有旋转接头，旋转接头的另一端设置有密封垫，固定块的上表面通过铰接块设置有转轴，工作台的上表面开设有滑槽，工作台的上表面位于滑槽的内侧壁滑动连接有滑动夹持块，滑动夹持块的上表面通过第二环形架设置有夹持块，工作台的上表面的后侧设置有支撑架，滑动块的下表面设置有喷头，滑动块的一侧面设置有与喷头贯通的氦气连接管，滑动块的下表面设置有激光测距仪，该装置具有便于与待检测半导体设备进行连接和便于自动检测的有益效果。