[实用新型]一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框有效
| 申请号： | 202222882756.6 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218710790U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 刘炜 | 申请（专利权）人： | 上海拓赛半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 宁德一知牛知识产权代理事务所(普通合伙) 35308 | 代理人： | 黄宏彪 |
| 地址： | 201500 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的属于真空镀膜技术领域，具体为一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，包括第一MASK框体和第二MASK框体，还包括：连接组件，所述连接组件连接在第一MASK框体和第二MASK框体之间；所述连接组件包括主连接块和副连接块，所述副连接块固定安装在主连接块上，所述主连接块和副连接块的一侧端连接第二MASK框体，所述主连接块和副连接块的另一侧端连接第一MASK框体，所述主连接块和第二MASK框体的连接处卡接固定块一，本实用新型有益效果是：MASK框分割为四部分，通过对MASK框连接处设置主连接块和固定块进行连接，通过对MASK框内侧设置MASK内框，增加MASK内框的使用强度和使用寿命，并且通过副连接块，可以对MASK内框进行稳定安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 设备 分割 mask | ||
【主权项】：
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