[实用新型]一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框

说明书

本实用新型公开的属于真空镀膜技术领域，具体为一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，包括第一MASK框体和第二MASK框体，还包括：连接组件，所述连接组件连接在第一MASK框体和第二MASK框体之间；所述连接组件包括主连接块和副连接块，所述副连接块固定安装在主连接块上，所述主连接块和副连接块的一侧端连接第二MASK框体，所述主连接块和副连接块的另一侧端连接第一MASK框体，所述主连接块和第二MASK框体的连接处卡接固定块一，本实用新型有益效果是：MASK框分割为四部分，通过对MASK框连接处设置主连接块和固定块进行连接，通过对MASK框内侧设置MASK内框，增加MASK内框的使用强度和使用寿命，并且通过副连接块，可以对MASK内框进行稳定安装。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于金属、半导体或绝缘体表面而形成薄膜的一种方法，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能，溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层。

现有的真空溅射镀膜过程中，MASK框整体形变量高，容易导致MASK框变形，使用寿命短。

因此，发明一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框很有必要。

实用新型内容

鉴于上述和/或现有一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框中存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型的目的是提供一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，MASK框分割为四部分，通过对MASK框连接处设置主连接块和固定块进行连接，通过对MASK框内侧设置MASK内框，增加MASK内框的使用强度和使用寿命，并且通过副连接块，可以对MASK内框进行稳定安装，能够解决上述提出现有真空溅射镀膜过程中，MASK框整体形变量高，容易导致MASK框变形，使用寿命短的问题。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其包括：第一MASK框体和第二MASK框体，还包括：连接组件，所述连接组件连接在第一MASK框体和第二MASK框体之间；

所述连接组件包括主连接块和副连接块，所述副连接块固定安装在主连接块上，所述主连接块和副连接块的一侧端连接第二MASK框体，所述主连接块和副连接块的另一侧端连接第一MASK框体。

作为本实用新型所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框的一种优选方案，其中：所述主连接块和第二MASK框体的连接处卡接固定块一，然后所述固定块一通过螺钉固定在主连接块和第二MASK框体上。

作为本实用新型所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框的一种优选方案，其中：所述主连接块和第一MASK框体的连接处卡接固定块二，然后所述固定块二通过螺钉固定在主连接块和第一MASK框体上。

作为本实用新型所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框的一种优选方案，其中：所述第一MASK框体和第二MASK框体和主连接块的两端上侧都开设有连接槽。

作为本实用新型所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框的一种优选方案，其中：所述固定块二和固定块一的上端内侧均固定安装卡块，所述卡块卡接在连接槽内侧。

作为本实用新型所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框的一种优选方案，其中：所述固定块二和固定块一的下端内侧均安装有弹簧，所述弹簧上端安装压板，所述压板卡接在主连接块与第一MASK框体和第二MASK框体的连接处。