[实用新型]一种晶圆夹持手臂

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。本实用新型通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片上设置的压力传感器，压力传感器受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性。