[实用新型]一种晶圆夹持手臂

权利要求书

1.一种晶圆夹持手臂，其特征在于，包括

装置外壳(1)，所述装置外壳(1)的外表面对称安装有两个夹持气缸(2)，两个所述夹持气缸(2)的输出端均设置有活动板(3)，所述活动板(3)的内部连接有导向杆(4)，所述活动板(3)的下表面固定有夹持板(5)，所述夹持板(5)的一侧设置有三个限位块(6)，所述夹持板(5)的内部设置有防护胶垫(7)，所述防护胶垫(7)的内部设置有夹持槽(8)，所述夹持板(5)的末端设置有缓冲垫片(9)，所述缓冲垫片(9)的内部安装有压力传感器(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述夹持气缸(2)与装置外壳(1)之间为螺栓连接，且夹持板(5)通过活动板(3)与夹持气缸(2)之间构成伸缩结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述限位块(6)与夹持板(5)之间为固定连接，且防护胶垫(7)与夹持板(5)之间为一体固定结构，并且夹持槽(8)贯穿至防护胶垫(7)的内壁，所述缓冲垫片(9)与夹持板(5)之间为固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述装置外壳(1)还设有：

安装壳(11)，其设置在所述装置外壳(1)的上表面，所述安装壳(11)的上端设置有连接座(12)，所述安装壳(11)的内部安装有调节马达(13)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述连接座(12)与安装壳(11)之间为一体固定结构，且调节马达(13)与安装壳(11)之间为螺钉连接。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述调节马达(13)还设有：

主动齿轮(14)，其设置在所述调节马达(13)的输出轴，所述主动齿轮(14)的左侧连接有从动齿轮(15)，所述从动齿轮(15)的内部连接有传动轴(16)，所述传动轴(16)的一侧设置有限位轴承(17)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述传动轴(16)通过从动齿轮(15)和主动齿轮(14)与调节马达(13)之间构成旋转结构，且限位轴承(17)的内壁与传动轴(16)的外壁紧密贴合，并且装置外壳(1)与传动轴(16)之间为固定连接。