[实用新型]一种晶圆夹持手臂

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。本实用新型通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片上设置的压力传感器，压力传感器受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，厂家在交货或者收货环节，经常要对其品质检验。除了正面检测，还需要对反面也进行检测。

如公开号为CN217405396U的一种晶圆夹持装置，该实用新型公开了一种晶圆夹持装置，涉及单片湿法处理的技术领域。所述晶圆夹持装置包括位于上方的动力部分和位于下方的夹持部分，所述夹持部分包括下夹盘和上夹盘，所述动力部分包括夹持气缸和电机；所述下夹盘通过下夹盘垂直连杆连接至下夹盘水平连杆，所述上夹盘上方连接至夹持气缸，所述下夹盘水平连杆上面设置气缸固定板，它通过两侧均布的气缸输出推力平稳一致，可减少将晶圆压坏的风险。

综合上述，可知现有技术中存在以下技术问题：现有的夹持手臂使用时不方便对夹持后的晶圆进行角度的调节，从而不便于对晶圆的另一面进行检查操作，为此，我们提供了一种晶圆夹持手臂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆夹持手臂，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述的技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆夹持手臂，包括，装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。

优选的，所述夹持气缸与装置外壳之间为螺栓连接，且夹持板通过活动板与夹持气缸之间构成伸缩结构。

优选的，所述限位块与夹持板之间为固定连接，且防护胶垫与夹持板之间为一体固定结构，并且夹持槽贯穿至防护胶垫的内壁，所述缓冲垫片与夹持板之间为固定连接。

优选的，所述装置外壳还设有：

安装壳，其设置在所述装置外壳的上表面，所述安装壳的上端设置有连接座，所述安装壳的内部安装有调节马达。

优选的，所述连接座与安装壳之间为一体固定结构，且调节马达与安装壳之间为螺钉连接。

优选的，所述调节马达还设有：

主动齿轮，其设置在所述调节马达的输出轴，所述主动齿轮的左侧连接有从动齿轮，所述从动齿轮的内部连接有传动轴，所述传动轴的一侧设置有限位轴承。

优选的，所述传动轴通过从动齿轮和主动齿轮与调节马达之间构成旋转结构，且限位轴承的内壁与传动轴的外壁紧密贴合，并且装置外壳与传动轴之间为固定连接。

上述描述可以看出，通过本申请的上述的技术方案，必然可以解决本申请要解决的技术问题。

同时，通过以上技术方案，本实用新型至少具备以下有益效果：