[实用新型]用于芯片加工的模压设备有效
申请号: | 202222761034.5 | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN218585924U | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 石雷;李风燕 | 申请(专利权)人: | 山东赛克罡正半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/329;B29C43/18;B29C43/32;B29C43/50 |
代理公司: | 北京华科知信专利代理事务所(普通合伙) 16086 | 代理人: | 李方帆 |
地址: | 250000 山东省济南市济阳区*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于芯片加工的模压设备,涉及芯片加工技术领域,包括底座,所述底座的上表面固定连接有安装块,所述安装块的上表面开设有安装槽,所述安装槽的内部安装有下模,所述安装块与所述下模之间设置有一组卡接组件,所述底座的上方设有顶板,所述底座的上表面固定连接有一组支撑杆,每个所述支撑杆的顶端均与所述顶板的底面固定连接,所述顶板的底面固定连接有气缸,所述气缸的输出端固定连接有连接柱。本实用新型通过拉簧、锥形顶块、电动推杆、锥形槽以及上模的配合设置,能够在上模升起的过程中,避免塑封后的芯片被上模带起,降低芯片掉落摔坏的风险。 | ||
搜索关键词: | 用于 芯片 加工 模压 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造