[实用新型]用于芯片加工的模压设备有效

专利信息
申请号: 202222761034.5 申请日: 2022-10-19
公开(公告)号: CN218585924U 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 石雷;李风燕 申请(专利权)人: 山东赛克罡正半导体有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/329;B29C43/18;B29C43/32;B29C43/50
代理公司: 北京华科知信专利代理事务所(普通合伙) 16086 代理人: 李方帆
地址: 250000 山东省济南市济阳区*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 用于 芯片 加工 模压 设备
【权利要求书】:

1.一种用于芯片加工的模压设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面固定连接有安装块(2),所述安装块(2)的上表面开设有安装槽(3),所述安装槽(3)的内部安装有下模(4),所述安装块(2)与所述下模(4)之间设置有一组卡接组件(5),所述底座(1)的上方设有顶板(6),所述底座(1)的上表面固定连接有一组支撑杆(7),每个所述支撑杆(7)的顶端均与所述顶板(6)的底面固定连接,所述顶板(6)的底面固定连接有气缸(8),所述气缸(8)的输出端固定连接有连接柱(9),所述连接柱(9)的底端安装有上模(10),所述连接柱(9)与所述上模(10)之间设置有连接组件(11),所述上模(10)的内部固定镶嵌有连接管(12),所述连接管(12)的内部安装有电磁阀(24),所述上模(10)的上表面开设有一组安装孔(13),每个所述安装孔(13)的内部均安装有电动推杆(14),每个所述安装孔(13)的底端均固定连通有锥形槽(15),每个所述电动推杆(14)的输出端均固定连接有拉簧(16),每个所述拉簧(16)的底端均固定连接有锥形顶块(17),且所述锥形顶块(17)的外表面与所述锥形槽(15)的内壁相抵接。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的模压设备,其特征在于:所述卡接组件(5)包括卡槽(501)和凹槽(502),所述卡槽(501)开设于下模(4)的外表面,所述凹槽(502)开设于安装槽(3)的内壁,所述凹槽(502)的内壁滑动连接有卡块(503),所述卡块(503)远离卡槽(501)的一端转动连接有螺杆(504),所述螺杆(504)远离卡块(503)的一端贯穿凹槽(502)的内壁并延伸至安装块(2)的外部,且所述螺杆(504)与所述安装块(2)螺纹连接,所述卡块(503)靠近卡槽(501)的一端卡接于卡槽(501)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种用于芯片加工的模压设备,其特征在于:所述卡块(503)靠近卡槽(501)的一端开设有倒角。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的模压设备,其特征在于:所述连接组件(11)包括连接套(111),所述连接套(111)滑动连接于连接柱(9)的外表面,所述连接套(111)的外表面螺纹连接有连接螺栓(112),所述连接螺栓(112)的后端依次贯穿连接柱(9)的外表面和连接套(111)的内壁并延伸至连接套(111)的后方,且所述连接螺栓(112)与所述连接柱(9)螺纹连接,连接螺栓(112)的后端螺纹连接有螺帽(113)。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的模压设备,其特征在于:两个所述锥形顶块(17)的内部均开设有滑槽(18),两个所述滑槽(18)的内壁均滑动连接有滑板(19),两个所述滑板(19)的上表面均固定连接有滑杆(20),两个所述滑杆(20)的顶端分别贯穿两个滑槽(18)的内壁并延伸至锥形顶块(17)的上方,且所述滑杆(20)与所述锥形顶块(17)滑动连接,两个所述滑杆(20)的顶端分别与两个所述电动推杆(14)的输出端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的模压设备,其特征在于:所述顶板(6)的底面固定连接有一组导向管(21),每个所述导向管(21)的内部均滑动连接有导向杆(22),每个所述导向杆(22)的底端均安装有安装板(23),两个安装板(23)靠近上模(10)的一端与所述上模(10)的外表面固定连接。

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