[实用新型]一种基于位置坐标识别的辅助装置有效
| 申请号： | 202222436736.6 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN218123365U | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 沈洪星;石斌;程波;鲍先同;熊海军;宋晓波 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 高微微 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于位置坐标识别的辅助装置，包括底座，底座上设置有用于对待转移器件进行检测的检测机构和用于驱动检测机构转动的转动机构，转动机构固定于底座上，检测机构的转动端与转动机构的输出端连接，转动机构驱动检测机构的检测端转动后设置于待转移器件上方；在原有转移设备上增设该辅助装置来获取待转移器件的位置坐标，与此同时有转移设备可以同时进行其他非转移作业，从而缩短非转移作业时间，提升了设备非转移作业效率，进而提高了整体转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 位置 标识 别的 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
