[实用新型]一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台

摘要

本实用新型属于扫描电镜用样品台领域，具体是一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓、螺母，主台与样品杆通过螺纹孔Ⅰ连接在一起，样品置放于样品杆样品槽内，通过旋转一字凹槽调整样品杆上表面至同一高度，角度调节台与主台通过安装孔Ⅰ用螺栓和螺母连接在一起，高低移动杆通过螺纹与主台连接，通过球头安装孔与万向球头相连，万向球头另一端安装在角度调节台的滑动凹槽内。本实用新型结构新颖，设计合理，简单快捷地实现了多角度观察镀膜样品断面，提高了科研效率，是扫描电镜样品台方面的创新。