[实用新型]一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜用样品台领域，具体是一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓、螺母，主台与样品杆通过螺纹孔Ⅰ连接在一起，样品置放于样品杆样品槽内，通过旋转一字凹槽调整样品杆上表面至同一高度，角度调节台与主台通过安装孔Ⅰ用螺栓和螺母连接在一起，高低移动杆通过螺纹与主台连接，通过球头安装孔与万向球头相连，万向球头另一端安装在角度调节台的滑动凹槽内。本实用新型结构新颖，设计合理，简单快捷地实现了多角度观察镀膜样品断面，提高了科研效率，是扫描电镜样品台方面的创新。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别涉及一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电子显微镜（扫描电镜）是一种新型的精密电子仪器，其工作原理是扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束加速和汇聚后，形成一束极细的高能电子束，其轰击在样品表面后会激发出一系列的光电信号，之后利用各种信号探测器对信号进行收集，进而显示出扫描图像。由于其具有放大倍数变化范围大且连续可调、景深深、分辨率高、成像立体感强、样品制备方便等优点，所以被广泛的应用于生命科学、地球科学、材料科学、生物、化学、医学等领域的研究中。

样品台是扫描电子显微镜的重要部件之一，用以承载样品，并通过电子扫描系统成像来表征样品的局部特征。

在科研和生产过程中，技术人员普遍遇到了下列问题：

1）观察硅片镀膜样品的断面时，样品通常是靠导电胶粘贴在样品台的侧面，无法保证电子束垂直的轰击在样品的断面处，样品在测试的过程中也容易脱落，影响测试结果；

2）由于导电胶也呈薄膜状，会干扰对硅片镀膜样品膜层断面形貌的判断和测试，导致测试效率低下；

3）普通的样品台一次性放置的断面样品数量少，造成扫描电镜的利用率低，科研成本高；

4）放置硅片镀膜样品时，调整样品的高度基本一致比较困难，这会造成扫描电镜的焦距不能囊括所有的样品，造成一些样品扫描不清晰的情况，无法完成正常的工作；

5）观察断面样品时，大多只能垂直观察，不能连续多角度观察样品的断面。

上述问题已经严重影响了扫描电镜在更大工作范围内的使用，迫切需要本领域的技术人员做出改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，解决如下技术问题：①观察硅片镀膜样品的断面时，如何保证电子束垂直轰击在样品断面处，且保证样品不易脱落；②如何一次性放置多个硅片镀膜断面样品；③放置硅片镀膜样品时，如何保证断面样品上表面高度一致；④如何连续多角度观察硅片镀膜样品断面；⑤如何避免使用导电胶带，消除导电胶带对硅片镀膜样品膜层断面形貌的干扰。

本实用新型采用如下技术方案：一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓和螺母。

所述的主台呈圆柱形，主台设有螺纹孔Ⅰ、螺纹孔Ⅱ和凸台，所述的螺纹孔Ⅰ位于主台左半部且均匀分布，所述的螺纹孔Ⅱ位于主台的右半部，所述的凸台位于主台的右半部边缘位置，凸台上设有安装孔Ⅰ；

所述的样品杆外部设有全螺纹，样品杆上端设有样品槽、下端设有一字凹槽Ⅰ，所述的样品槽深度为1.5-2.0mm，厚度为0.53-0.55mm；

所述的角度调节台为半圆形，角度调节台设有耳片和滑动凹槽，所述的耳片上设有安装孔Ⅱ，所述的角度调节台可调节角度范围为30°-60°；

所述的高低移动杆外部设有全螺纹，高低移动杆上端设有球头安装孔、下端设有一字凹槽Ⅱ，所述的球头安装孔设有内螺纹；

所述的万向球头包括连接螺杆、旋转装置和支撑杆；