[实用新型]一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台

权利要求书

1.一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台（1）、样品杆（2）、角度调节台（3）、高低移动杆（4）、万向球头（5）、螺栓（6）和螺母（7），其特征在于：

所述的主台（1）呈圆柱形，主台（1）设有螺纹孔Ⅰ（1-1）、螺纹孔Ⅱ（1-2）和凸台（1-3），所述的螺纹孔Ⅰ（1-1）位于主台（1）左半部且均匀分布，所述的螺纹孔Ⅱ（1-2）位于主台（1）的右半部，所述的凸台（1-3）位于主台（1）的右半部边缘位置，凸台（1-3）上设有安装孔Ⅰ（1-3-1）；

所述的样品杆（2）外部设有全螺纹，样品杆（2）上端设有样品槽（2-1）、下端设有一字凹槽Ⅰ（2-2）；

所述的角度调节台（3）为半圆形，角度调节台（3）设有耳片（3-1）和滑动凹槽（3-2），所述的耳片（3-1）上设有安装孔Ⅱ（3-1-1）；

所述的高低移动杆（4）外部设有全螺纹，高低移动杆（4）上端设有球头安装孔（4-1）、下端设有一字凹槽Ⅱ（4-2），所述的球头安装孔（4-1）设有内螺纹；

所述的万向球头（5）包括连接螺杆（5-1）、旋转装置（5-2）和支撑杆（5-3）；

所述的螺栓（6）包括螺栓头部（6-1）、光杆部（6-2）和螺纹部（6-3），螺栓头部（6-1）和螺纹部（6-3）位于两端，光杆部（6-2）位于中间；

所述的样品杆（2）穿过螺纹孔Ⅰ（1-1）通过螺纹连接将样品杆（2）与主台（1）连接在一起；

所述的角度调节台（3）的安装孔Ⅱ（3-1-1）与凸台（1-3）的安装孔Ⅰ（1-3-1）相对应，所述的螺栓（6）穿过安装孔Ⅰ（1-3-1）和安装孔Ⅱ（3-1-1）与螺母（7）配合将角度调节台（3）与主台（1）连接在一起；

所述的高低移动杆（4）穿过螺纹孔Ⅱ（1-2）通过螺纹连接将高低移动杆（4）与主台（1）连接在一起；

所述的连接螺杆（5-1）与球头安装孔（4-1）通过螺纹配合将万向球头（5）与高低移动杆（4）连接在一起；

所述的支撑杆（5-3）插入角度调节台（3）的滑动凹槽（3-2）内，将万向球头（5）与角度调节台（3）连接在一起。

2.根据权利要求1所述的便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，其特征在于：所述的样品槽（2-1）深度为1.5-2.0mm，厚度为0.53-0.55mm。

3.根据权利要求1所述的便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，其特征在于：所述的角度调节台（3）的可调节角度区间为30°-60°。